高端制造、半导体装备与精密工程
光刻设备与精密对准工程、薄膜沉积、刻蚀与等离子体设备工程、离子注入与束流设备工程、CMP、晶圆清洗与湿法设备工程
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感知与控制技术 4 个合集
- 007-设备数据采集、PLC与状态监控工程13 门课程
课程示例:《FMCS数据采集层与PLC控制器集成调试工程实践》;《OPC UA设备信息模型与数据采集工程》
- 009-精密运动驱动、反馈与实时控制工程27 门课程
课程示例:《伺服定位精度测试与误差补偿工程》;《伺服系统安全限位与制动控制设计》
- 016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程17 门课程
课程示例:《半导体MFC流量控制系统选型、标定与精度工程》;《半导体化学液供给系统材料、管路与兼容性工程》
- 019-高端装备控制软件与设备自动化工程22 门课程
课程示例:《ARM Linux外设驱动性能调优与故障定位实战》;《FreeRTOS设备软件移植、启动升级与可靠运行工程》
调试与部署 2 个合集
- 005-半导体封装测试与可靠性验证工程10 门课程
课程示例:《Die Attach贴片设备视觉定位与精度控制》;《QFN封装划片工序中崩边缺陷的成因与工艺优化》
- 012-视觉定位、标定与精密计量工程14 门课程
课程示例:《在线视觉计量、SPC质量监控与过程闭环工程》;《多相机大视野拼接与尺寸测量》
其他专题 21 个合集
- 001-光刻设备与精密对准工程10 门课程
课程示例:《KrF光刻设备工艺开发、曝光控制与量产调试工程》;《光刻工艺EUV光刻机台焦点与曝光剂量联合优化调试》
- 002-薄膜沉积、刻蚀与等离子体设备工程16 门课程
课程示例:《刻蚀工艺故障排查:侧壁损伤与负载效应解决思路》;《刻蚀设备工艺气路、流量与腔压控制系统工程》
- 003-离子注入与束流设备工程11 门课程
课程示例:《半导体离子注入设备真空系统与束流传输调试实践指南》;《半导体离子注入设备调试与工艺参数匹配实战进阶》
- 004-CMP、晶圆清洗与湿法设备工程13 门课程
课程示例:《CMP与晶圆平坦化设备配置调试与现场应用》;《CMP平坦化工艺性能调优:材料去除率与表面缺陷控制》
- 006-半导体设备通信、EAP与MES自动化工程16 门课程
课程示例:《SECSGEM HSMS连接故障诊断与通信调试》;《SECSGEM协议E系列规范与SML解析集成》
- 008-EtherCAT、CANopen与工业现场总线工程10 门课程
课程示例:《CANopenNode同步机制与电机控制工程实践》;《CANopen从站对象字典、通信服务与设备开发工程》
- 010-精密机械传动、机构与误差工程10 门课程
课程示例:《柔性铰链微位移机构设计与精密运动工程》;《测试治具精度校准流程与误差控制》
- 011-工业机器视觉、成像与缺陷检测工程22 门课程
课程示例:《Camera硬件通路与ISP架构原理与工程应用》;《HALCON工业视觉项目开发与工程部署》
- 013-3D视觉与非接触精密测量工程16 门课程
课程示例:《3D视觉在线测量与运动平台联动》;《3D视觉场景重建与点云配准工程实践》
- 014-精密传感、信号采集与力学测量工程10 门课程
课程示例:《STM32多传感器数据采集与FreeRTOS移植实战》;《从零设计高精度仪表放大器》
- 015-真空系统、检漏与腔体密封工程13 门课程
课程示例:《半导体设备真空系统调试与验收》;《双工件台真空验收在EUV光刻机项目部署与工程实践》
- 017-高端装备温控、热设计与热稳定性工程14 门课程
课程示例:《Chiller精密温控系统设计、控制与设备集成工程》;《低温工艺设备制冷系统与温度控制》
- 018-高端装备故障诊断、预测维护与健康管理14 门课程
课程示例:《半导体设备真空系统异常诊断与恢复工程》;《工业设备通信故障诊断与链路分层排查》
- 020-精密装调、校准与整机验收工程21 门课程
课程示例:《ArF光源光刻机双工件台联调与项目验收测试案例》;《位移测量系统校准、线性补偿与计量验证工程》
- 021-ASML光刻系统与先进制造工程20 门课程
课程示例:《ASML先进光刻设备工艺集成与生产协同》;《ASML先进光刻量测反馈与过程控制工程》
- 022-Applied Materials薄膜沉积与半导体制造工程20 门课程
课程示例:《AMAT应用材料AMAT ALD设备与原子层沉积工程》;《AMAT应用材料AMAT CVD设备与薄膜均匀性工程》
- 023-Lam Research刻蚀与薄膜制造工程20 门课程
课程示例:《Lam泛林 3D NAND高深宽比刻蚀工程》;《Lam泛林先进逻辑刻蚀工艺开发与量产应用》
- 024-KLA半导体检测与量测工程20 门课程
课程示例:《KLA先进制程异常定位与根因分析工程》;《KLA先进封装检测与质量控制工程》
- 025-Tokyo Electron晶圆制造设备与工艺工程20 门课程
课程示例:《TEL东京电子光刻胶涂布与显影工艺优化》;《TEL东京电子刻蚀设备与先进制程工程》
- 026-TRUMPF激光加工与智能制造工程20 门课程
课程示例:《TRUMPF通快工业激光加工系统设计与工程应用》;《TRUMPF通快机器人激光加工工作站调试工程》
- 027-IPG Photonics高功率光纤激光加工工程20 门课程
课程示例:《IPG光束质量测量与加工稳定性验证工程》;《IPG光纤激光制造项目量产导入与工程交付》
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