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023-Lam Research刻蚀与薄膜制造工程

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20门 系列课程
高端制造、半导体装备与精密工程 所属方向
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01
《Lam泛林 3D NAND高深宽比刻蚀工程》
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02
《Lam泛林先进逻辑刻蚀工艺开发与量产应用》
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03
《Lam泛林刻蚀Recipe开发与量产验证工程》
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04
《Lam泛林刻蚀工艺良率提升工程》
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05
《Lam泛林刻蚀终点检测与过程控制工程》
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06
《Lam泛林刻蚀缺陷诊断与工艺恢复工程》
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07
《Lam泛林刻蚀腔体清洁与污染控制工程》
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08
《Lam泛林刻蚀腔体真空与气体控制工程》
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09
《Lam泛林刻蚀设备数据监控与异常诊断》
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10
《Lam泛林刻蚀设备整机联调与验收工程》
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11
《Lam泛林刻蚀选择比与侧壁形貌控制工程》
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12
《Lam泛林半导体设备故障诊断与维护体系》
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13
《Lam泛林晶圆制造设备量产导入与工程交付》
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14
《Lam泛林晶圆清洗与表面处理工艺工程》
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15
《Lam泛林晶圆清洗缺陷与表面质量工程》
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16
《Lam泛林等离子体源与射频匹配工程》
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17
《Lam泛林等离子刻蚀设备与工艺集成工程》
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18
《Lam泛林薄膜沉积设备与晶圆制造工程》
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19
《Lam泛林设备工艺匹配与产线性能优化》
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20
《Lam泛林高深宽比刻蚀均匀性优化工程》
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