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高端制造、半导体装备与精密工程
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017-高端装备温控、热设计与热稳定性工程
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017-高端装备温控、热设计与热稳定性工程
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14门
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高端制造、半导体装备与精密工程
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01
《Chiller精密温控系统设计、控制与设备集成工程》
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02
《低温工艺设备制冷系统与温度控制》
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03
《功率器件热设计与安全工作区(SOA)分析》
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04
《半导体设备加热盘、多区温控与温度均匀性工程》
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05
《多区加热系统温度场解耦、控制与均匀性工程》
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06
《浸没系统温控与ArF光刻机调焦调平联动调试实践》
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07
《电子设备热设计与系统散热进阶实践》
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08
《精密结构热变形、热漂移与精度保持工程》
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09
《精密设备热漂移建模与结构补偿》
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10
《高端装备整机散热风道与热热点治理》
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11
《高端装备温控系统故障诊断与超温保护设计》
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12
《高端装备热平衡、温升控制与热稳定性验证工程》
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13
《高端装备热源布局、温度场设计与热稳定性工程》
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14
《高端装备风冷液冷散热、热阻设计与系统集成工程》
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