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015-真空系统、检漏与腔体密封工程

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13门 系列课程
高端制造、半导体装备与精密工程 所属方向
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01
《半导体设备真空系统调试与验收》
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02
《双工件台真空验收在EUV光刻机项目部署与工程实践》
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03
《氦质谱检漏系统、漏率定量与工程诊断》
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04
《真空压力控制系统、阀门选型与动态调节工程》
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05
《真空密封材料放气率与洁净度控制》
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06
《真空泵组设计、抽气性能与系统匹配工程》
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07
《真空测量系统选型、集成与压力控制工程》
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08
《真空系统放气污染与极限真空治理》
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09
《真空系统自动控制与安全联锁设计》
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10
《真空腔体密封结构与O形圈选型工程》
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11
《真空腔体焊接密封、泄漏诊断与气密验证工程》
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12
《超高真空金属密封与烘烤除气工程》
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13
《高真空泵组、阀门联动与自动控制系统工程》
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