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016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程

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17门 系列课程
高端制造、半导体装备与精密工程 所属方向
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01
《半导体MFC流量控制系统选型、标定与精度工程》
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02
《半导体化学液供给系统材料、管路与兼容性工程》
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03
《半导体特气VCR管路安装、洁净施工与气密验证工程》
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04
《半导体特气供气柜、VMB与安全联锁系统工程》
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05
《半导体特气双层管路、泄漏侦测与安全控制工程》
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06
《半导体特气管路吹扫、置换与洁净输送工程》
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07
《半导体特气输送压力、阀组与动态控制工程》
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08
《比例阀气动闭环控制、动态响应与设备应用工程》
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09
《洁净气路过滤干燥与颗粒控制工程》
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10
《特气尾气处理与紧急切断联锁工程》
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11
《真空吸附、正压吹气与复合气路控制系统工程》
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12
《精密气路供气、压力调节与稳定控制系统工程》
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13
《精密气路系统设计、泄漏诊断与气密验证工程》
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14
《精密液路压力流量闭环、脉动治理与稳定输送工程》
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15
《精密液路泵阀系统、流量控制与设备集成工程》
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16
《精密液路系统设计、流体控制与设备集成工程》
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17
《腐蚀性特气输送系统材料、密封与可靠性工程》
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