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高端制造、半导体装备与精密工程
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016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程
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《精密液路系统设计、流体控制与设备集成工程》
VIP17
本课程属于:016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程
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精密液路系统设计、流体控制与设备集成工程
共计 30 章节
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01
精密液路系统总论
目标=精密液路系统的定义 · 核心指标(流量精度 · 压力稳定性
精密液路系统总论
目标=精密液路系…
02
流体力学基础回顾
目标=连续性方程 · 伯努利方程 · 纳维-斯托克斯方程在精密液路中的简化…
流体力学基础回顾
目标=连续性方程
03
精密液路关键部件认知
目标=微型泵(注射泵 · 蠕动泵 · 隔膜泵
精密液路关键部件…
目标=微型泵
04
液路材料与兼容性设计
目标=润湿材料选择(PTFE · PEEK · 不锈钢
液路材料
兼容性设计
05
管路系统布局与流阻计算
目标=串联与并联管路流阻模型 · 沿程损失与局部损失计算 · 管路长度与内径对压力响应的影响
管路系统布局
流阻计算
06
微型泵驱动与控制基础
目标=步进电机与伺服电机驱动注射泵的… · 细分驱动与微步进技术 · 泵流量脉动来源分析与抑制方法
微型泵驱动
控制基础
07
阀门动态特性与选型
目标=阀门响应时间 · 泄漏率 · 死体积
阀门动态特性
选型
08
流量与压力传感技术
目标=热式 · 科氏力 · 差压式流量传感器原理与精度对比
流量
压力传感技术
09
液路系统建模与仿真
目标=基于Simulink/AMES… · 泵-阀-管-负载的集总参数模型 · 仿真与实验对比验证流程
液路系统建模
仿真
10
精密流量控制策略
目标=PID控制 · 前馈补偿 · 自适应控制
精密流量控制策略
PID
11
压力闭环控制与脉动抑制
目标=压力传感器反馈控制 · 蓄能器与阻尼器设计 · 主动脉动抑制算法
压力闭环控制
脉动抑制
12
液路系统气泡与死区问题
目标=气泡产生机理 · 气泡对流量与压力测量的影响 · 排气结构设计
液路系统气泡
死区问题
13
多通道液路分配与切换
目标=多通阀 · 旋转阀 · 多路注射泵的时序控制
多通道液路分配
切换
14
微量与纳升液路设计
目标=微流控芯片接口 · 纳升注射泵 · 微阀集成
微量
纳升液路设计
15
液路系统洁净度与颗粒控制
目标=洁净度等级标准 · 颗粒来源与过滤方案 · 在线颗粒监测
液路系统洁净度
颗粒控制
16
温度对液路精度的影响与补偿
目标=液体粘度-温度特性 · 热膨胀效应 · 温度传感器布局
温度对液路精度的…
补偿
17
液路系统校准与标定
目标=流量计校准方法(重量法 · 体积法) · 压力传感器标定
液路系统校准
标定
18
液路系统故障诊断与容错
目标=常见故障模式(堵塞 · 泄漏 · 气泡
液路系统故障诊断
容错
19
液路控制电子硬件设计
目标=驱动电路(H桥 · 恒流源) · 信号采集(ADC选型与滤波)
液路控制电子硬件…
目标=驱动电路
20
液路系统嵌入式软件架构
目标=实时操作系统任务调度 · 控制算法实现 · 通信协议(CAN
液路系统嵌入式软…
目标=实时操作系…
21
液路系统与上位机集成
目标=上位机软件架构 · 人机界面设计 · 数据记录与分析
液路系统
上位机集成
22
液路系统集成与装配工艺
目标=管路连接工艺(卡套 · 快插 · 焊接)
液路系统集成
装配工艺
23
液路系统测试与验证
目标=功能测试 · 性能测试(流量精度 · 压力稳定性
液路系统测试
验证
24
分析仪器液路系统实战
目标=高效液相色谱(HPLC)液路系… · 梯度洗脱 · 高压密封
分析仪器液路系统…
HPLC
25
医疗设备液路系统实战
目标=输液泵 · 透析机 · 体外诊断设备液路设计案例
医疗设备液路系统…
目标=输液泵
26
半导体制造液路系统实战
目标=光刻胶涂布 · 化学机械抛光(CMP)液路供应系统 · 超纯水与化学品输送
半导体制造液路系…
目标=光刻胶涂布
27
生物制药液路系统实战
目标=一次性生物反应器液路 · 层析系统液路 · 无菌连接与消毒验证
生物制药液路系统…
目标=一次性生物…
28
液路系统能效与热管理
目标=泵与阀功耗优化 · 发热对流体温度的影响 · 散热结构设计
液路系统能效
热管理
29
液路系统可靠性与寿命设计
目标=加速寿命试验方法 · 磨损与疲劳分析 · 关键部件更换周期
液路系统可靠性
寿命设计
30
精密液路系统前沿与综合项目
目标=微流控与器官芯片液路 · 数字化液路(智能阀门与自诊断) · 综合项目任务——设计并集成一套多通道…
精密液路系统前沿
综合项目
所属VIP或分类
同VIP:半导体MFC流量控制系统选型、标定与精度工程
同VIP:半导体化学液供给系统材料、管路与兼容性工程
同VIP:半导体特气VCR管路安装、洁净施工与气密验证工程