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本课程属于：016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 17 门相关课程，组合学习更完整。
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半导体特气输送压力、阀组与动态控制工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程对象界定
目标=半导体特气输送系统的工艺位置 · 压力-阀组-动态控制三大核心对象 · 课程学习地图与工程案例总览
课程导入工程对象界定
02
特气输送系统总体架构
目标=气源柜 · VMB/VMP · 主管路
特气输送系统总体…目标=气源柜
03
特气介质特性与输送约束
目标=腐蚀性 · 毒性 · 易燃性
特气介质特性输送约束
04
压力基础与工程单位体系
目标=绝压 · 表压 · 差压
压力基础工程单位体系
05
输送管路压力损失计算
目标=直管 · 弯头 · 阀门
输送管路压力损失…目标=直管
06
气源压力调节与一级减压
目标=钢瓶压力 · 减压阀工作原理 · 出口压力设定
气源压力调节一级减压
07
二级减压与终端压力稳定性
目标=VMB/VMP 减压结构 · 负载变化下的压力波动 · 调压阀选型与设定点管理
二级减压终端压力稳定性
08
真空侧压力控制
目标=工艺腔室抽气 · 前级压力 · 真空计选型
真空侧压力控制目标=工艺腔室抽…
09
压力传感器与变送器工程应用
目标=压阻 · 电容 · 压电
压力传感器变送器工程应用
10
压力信号采集与安全联锁
目标=4-20mA · 10V · 数字总线信号
压力信号采集安全联锁
11
阀组基础与分类
目标=手动阀 · 气动阀 · 电磁阀
阀组基础分类
12
阀组材料与密封工程
目标=阀体 · 阀座 · 隔膜
阀组材料密封工程
13
阀组流路设计与吹扫结构
目标=单阀 · 双阀 · 三阀组
阀组流路设计吹扫结构
14
阀组泄漏与密封性验证
目标=氦检漏 · 压力衰减 · 真空保压
阀组泄漏密封性验证
15
气动阀驱动与先导控制
目标=仪表气压力 · 电磁先导阀 · 执行器扭矩
气动阀驱动先导控制
16
阀组响应特性与动态行为
目标=阀门开启/关闭时间 · 压力冲击 · 水锤效应
阀组响应特性动态行为
17
动态控制基础
目标=被控变量 · 操纵变量 · 扰动
动态控制基础目标=被控变量
18
压力闭环控制回路设计
目标=PID 参数整定 · 积分饱和 · 死区
压力闭环控制回路…PID
19
流量-压力耦合动态控制
目标=质量流量控制器 · 压力控制器 · 阀组协同调节与解耦策略
流量压力耦合动态控制
20
多腔室与多支路压力分配
目标=负载切换 · 压力互扰 · 优先级调度与阀组切换顺序控制
多腔室多支路压力分配
21
吹扫与置换动态过程控制
目标=N2 吹扫 · 循环抽真空 · 压力脉冲
吹扫置换动态过程控制
22
特气切换与钢瓶更换动态控制
目标=自动切换阀组 · 备用气源 · 压力跌落检测
特气切换钢瓶更换动态控制
23
紧急切断与安全泄放动态响应
目标=紧急切断阀 · 泄压阀 · 爆破片
紧急切断安全泄放动态响应
24
PLC/SCADA 在阀组与压力控制中的实现
目标=I/O 分配 · 控制逻辑 · HMI 画面
PLC/SCADA阀组
25
动态控制算法进阶
目标=模糊控制 · 自适应 PID · 模型预测控制在压力波动抑制中的工程应…
动态控制算法进阶目标=模糊控制
26
数字孪生与仿真验证
目标=管路压力动态模型 · 阀组动作仿真 · 控制策略离线验证与参数优化
数字孪生仿真验证
27
典型工程案例一
目标=CVD 特气输送压力不稳与阀组…
典型工程案例一CVD
28
典型工程案例二
目标=刻蚀机多腔室特气压力耦合振荡的…
典型工程案例二目标=刻蚀机多腔…
29
典型工程案例三
目标=高危特气泄漏场景下的紧急切断 · 压力泄放与动态联锁实战演练
典型工程案例三目标=高危特气泄…
30
课程综合实战与前沿展望
目标=完整特气输送压力-阀组-动态控… · 验收指标 · 运维策略与智能化趋势
课程综合实战前沿展望