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高端制造、半导体装备与精密工程
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016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程
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《洁净气路过滤干燥与颗粒控制工程》
VIP17
本课程属于:016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程
高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 17 门相关课程,组合学习更完整。
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洁净气路过滤干燥与颗粒控制工程
共计 30 章节
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01
洁净气路系统总览
目标=洁净气路的定义 · 典型组成 · 过滤-干燥-颗粒控制三大功能模块及其…
洁净气路系统总览
目标=洁净气路的…
02
气体污染物与洁净度等级
目标=颗粒 · 水蒸气 · 油雾
气体污染物
洁净度等级
03
气路过滤基础与过滤机理
目标=拦截 · 惯性碰撞 · 扩散
气路过滤基础
过滤机理
04
过滤材料与滤芯结构选型
目标=玻璃纤维 · PTFE · 聚丙烯
过滤材料
滤芯结构选型
05
高效与超高效过滤器工程应用
目标=HEPA/ULPA 过滤器性能… · 安装方式 · 密封结构
高效
超高效过滤器工程…
06
油雾与油气过滤控制
目标=压缩空气含油来源 · 油雾过滤器分级 · 聚结分离原理
油雾
油气过滤控制
07
气体干燥基础与露点控制
目标=绝对湿度 · 相对湿度 · 露点
气体干燥基础
露点控制
08
冷冻式干燥与吸附式干燥
目标=冷冻干燥原理与局限 · 无热再生 · 有热再生
冷冻式干燥
吸附式干燥
09
膜式干燥与新型干燥技术
目标=中空纤维膜干燥原理 · 吹扫气比 · 膜组件选型
膜式干燥
新型干燥技术
10
干燥剂性能与再生工程
目标=硅胶 · 活性氧化铝 · 分子筛的吸附容量
干燥剂性能
再生工程
11
颗粒物采样与在线监测
目标=等速采样 · 采样管路设计 · 激光粒子计数器
颗粒物采样
线监测
12
气路颗粒控制与洁净吹扫
目标=颗粒沉积 · 再悬浮 · 静电吸附机制
气路颗粒控制
洁净吹扫
13
过滤器完整性测试与检漏
目标=DOP/PAO 检漏 · 气泡点测试 · 扩散流测试
过滤器完整性测试
检漏
14
洁净气路管路与阀门设计
目标=不锈钢 · PVDF · PFA 等管材选择
洁净气路管路
阀门设计
15
气路系统压降与流量匹配
目标=沿程阻力 · 局部阻力计算 · 过滤器压降随流量与积尘的变化
气路系统压降
流量匹配
16
压缩空气净化系统集成
目标=从空压机到终端用气点的完整净化… · 冷干机 · 过滤器
压缩空气净化系统…
目标=从空压机到…
17
高纯气体过滤与干燥
目标=氮气 · 氢气 · 氩气
高纯气体过滤
干燥
18
生物洁净气路与无菌过滤
目标=生物制药 · 发酵 · 无菌灌装中的除菌过滤
生物洁净气路
无菌过滤
19
洁净气路中的微生物与内毒素控制
目标=微生物来源 · 过滤截留 · 干燥抑制
洁净气路
微生物
20
气路材料放气与洁净兼容性
目标=材料出气 · 渗透 · 吸附对气体纯度的影响
气路材料放气
洁净兼容性
21
过滤器寿命预测与更换策略
目标=基于压差 · 时间 · 颗粒计数
过滤器寿命预测
更换策略
22
洁净气路能耗与运行成本优化
目标=干燥再生能耗 · 过滤器压降能耗 · 吹扫气耗量
洁净气路能耗
运行成本优化
23
典型行业气路设计案例
目标=半导体 Fab 厂务气体系统 · 制药洁净压缩空气系统 · 食品级氮气系统的设计要点与验证流程
典型行业气路设计…
Fab
24
气路故障诊断与排除
目标=压降异常 · 露点超标 · 颗粒超标
气路故障诊断
排除
25
洁净气路验证与文件体系
目标=DQ/IQ/OQ/PQ 验证框… · 测试项目 · 取样计划
洁净气路验证
文件体系
26
在线监测与数据采集系统
目标=露点仪 · 油分仪 · 粒子计数器
线监测
数据采集系统
27
气路系统清洗与钝化工程
目标=新建管路的酸洗 · 钝化 · 纯水冲洗
气路系统清洗
钝化工程
28
终端用气点颗粒控制
目标=点-of-use 过滤器 · 减压阀 · 流量计
终端用气点颗粒控…
of-use
29
洁净气路标准与法规符合性
目标=ISO 8573 · ISO 14644 · GMP Annex 1
洁净气路标准
法规符合性
30
综合实战
目标=给定用气场景的洁净气路过滤干燥… · 选型计算 · 验证方案与运行维护计划编制
综合实战
目标=给定用气场…
所属VIP或分类
同VIP:半导体MFC流量控制系统选型、标定与精度工程
同VIP:半导体化学液供给系统材料、管路与兼容性工程
同VIP:半导体特气VCR管路安装、洁净施工与气密验证工程