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本课程属于：016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 17 门相关课程，组合学习更完整。
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腐蚀性特气输送系统材料、密封与可靠性工程

共计 30 章节
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01
课程导入与系统认知
目标=腐蚀性特气的定义与分类 · 典型特气（Cl2 · HCl
课程导入系统认知
02
腐蚀性特气输送系统总体设计
目标=系统工艺流程与管路布局原则 · 材料选择与密封策略的协同设计 · 可靠性指标与失效模式初步识别
腐蚀性特气输送系…目标=系统工艺流…
03
金属材料腐蚀机理与选材
目标=电化学腐蚀与化学腐蚀基础 · 点蚀/缝隙腐蚀/应力腐蚀开裂 · 常用金属（不锈钢
金属材料腐蚀机理选材
04
非金属材料与聚合物衬里
目标=PTFE · PFA · PVDF
非金属材料聚合物衬里
05
材料与特气的兼容性测试与评价
目标=浸泡试验 · 动态腐蚀试验 · 表面分析（SEM/EDS/XPS）
材料特气的兼容性测试
06
高纯与超纯输送对材料表面的要求
目标=表面粗糙度 · 钝化层 · 析出物与颗粒控制
高纯超纯输送对材料表…
07
密封原理与静密封技术
目标=垫片密封 · O形圈密封 · 金属垫圈密封的机理
密封原理静密封技术
08
动密封与阀门填料密封
目标=球阀 · 隔膜阀 · 波纹管阀的密封结构
动密封阀门填料密封
09
焊接与连接工艺的密封可靠性
目标=轨道焊 · VCR接头 · 卡套接头
焊接连接工艺的密封可…
10
腐蚀性特气输送管路的设计计算
目标=管径与流速选择 · 压力损失计算 · 热膨胀与应力分析
腐蚀性特气输送管…目标=管径
11
阀门与关键部件的耐蚀选型
目标=隔膜阀 · 波纹管阀 · 球阀
阀门关键部件的耐蚀选…
12
质量流量控制器与传感器兼容性
目标=MFC接液材质与腐蚀防护 · 压力传感器与真空计选型 · 过滤器与纯化器的耐蚀设计
质量流量控制器传感器兼容性
13
吹扫与置换系统设计
目标=氮气/氩气吹扫流程 · 循环吹扫与真空置换 · 吹扫效率验证
吹扫置换系统设计
14
泄漏检测与在线监测技术
目标=氦质谱检漏 · 压力衰减法 · 红外与电化学传感器
泄漏检测线监测技术
15
系统安装与施工规范
目标=管道预制与洁净安装 · 焊接与连接质量管控 · 支架与接地
系统安装施工规范
16
调试与首次运行
目标=系统干燥与置换 · 保压与泄漏率验收 · MFC校准
调试首次运行
17
运行维护与预防性维护
目标=日常巡检项目 · 密封件更换周期 · 阀门动作测试
运行维护预防性维护
18
故障诊断与失效分析
目标=典型失效模式（泄漏 · 堵塞 · 腐蚀穿孔
故障诊断失效分析
19
可靠性工程基础与系统建模
目标=可靠性指标（MTBF · 可用度） · 可靠性框图与故障树
可靠性工程基础系统建模
20
风险评估与HAZOP分析
目标=腐蚀性特气危害辨识 · HAZOP与LOPA方法 · 安全完整性等级（SIL）评估
HAZOP风险评估
21
材料与密封的加速寿命试验
目标=温度/压力/浓度加速模型 · 密封件寿命预测 · 腐蚀疲劳试验
材料密封的加速寿命试…
22
洁净室与安全防护工程
目标=通风与排风设计 · 气体检测与联锁 · 个人防护装备
洁净室安全防护工程
23
典型腐蚀性特气系统案例
目标=Cl2供应系统 · HCl输送系统 · NF3远程等离子体系统
典型腐蚀性特气系…Cl2
24
半导体与光伏产线中的特气系统
目标=工艺需求与纯度等级 · 供气柜与VMB/VMP设计 · 尾气处理
半导体光伏产线
25
化工与实验室特气系统
目标=小规模供气与实验装置 · 耐蚀材料选择 · 通风柜与手套箱集成
化工实验室特气系统
26
标准与法规体系
目标=SEMI S2/S6 · NFPA 55 · ISO 10297
标准法规体系
27
数字化与智能运维
目标=传感器数据采集与SCADA · 预测性维护算法 · 数字孪生与剩余寿命评估
数字化智能运维
28
新材料与先进密封技术
目标=高性能合金 · 陶瓷涂层 · 全氟弹性体
新材料先进密封技术
29
系统可靠性提升实战
目标=基于FMEA的改进项目 · 密封结构优化 · 材料替换验证
系统可靠性提升实…FMEA
30
综合项目与课程总结
目标=分组完成一套腐蚀性特气输送系统… · 密封设计 · 可靠性分析与运维方案
综合项目课程总结