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本课程属于：016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 17 门相关课程，组合学习更完整。
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半导体特气管路吹扫、置换与洁净输送工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程全景
目标=半导体特气管路系统的构成 · 吹扫置换与洁净输送的工程目标 · 典型工艺节点与安全红线
课程导入工程全景
02
特气种类与管路材料兼容性
目标=常用特气（硅烷 · 氨气 · 氯气
特气种类管路材料兼容性
03
管路系统设计基础
目标=管径选择 · 阀门与管件配置 · 死区控制
管路系统设计基础目标=管径选择
04
洁净度与水分氧含量指标
目标=颗粒 · 金属离子 · 水分
洁净度水分氧含量指标
05
吹扫介质选择与准备
目标=氮气 · 氩气 · 氢气等吹扫气体的纯度
吹扫介质选择准备
06
吹扫与置换的物理化学原理
目标=稀释 · 推挤 · 湍流混合
吹扫置换的物理化学原…
07
吹扫置换工艺流程设计
目标=抽真空-充压循环 · 连续吹扫 · 脉冲吹扫
吹扫置换工艺流程…目标=抽真空
08
真空辅助置换技术
目标=真空泵选型 · 极限真空与置换效率关系 · 真空-氮气循环操作要点与安全联锁
真空辅助置换技术目标=真空泵选型
09
管路吹扫操作实战
目标=从气源接入 · 压力调节 · 流量控制到排放处理的完整操作步骤与记…
管路吹扫操作实战目标=从气源接入
10
置换终点判断方法
目标=水分 · 氧含量 · 特气浓度在线检测与取样分析
置换终点判断方法目标=水分
11
吹扫置换中的死角与支管处理
目标=盲管 · 支路 · 仪表接口
吹扫置换死角
12
阀门与组件专项处理
目标=隔膜阀 · 波纹管阀 · 质量流量控制器
阀门组件专项处理
13
颗粒污染控制与吹扫
目标=颗粒来源 · 吹扫流速与剪切力 · 过滤方案
颗粒污染控制吹扫
14
水分与氧含量深度脱除
目标=吸附剂选择 · 烘烤除气 · 置换次数计算
水分氧含量深度脱除
15
特气置换的安全风险
目标=自燃 · 毒性 · 腐蚀
特气置换的安全风…目标=自燃
16
吹扫排放与尾气处理
目标=排放管路设计 · 稀释 · 洗涤
吹扫排放尾气处理
17
在线检测与过程分析技术
目标=露点仪 · 氧分析仪 · 气相色谱
线检测过程分析技术
18
洁净输送系统启动与切换
目标=从吹扫置换完成到特气导入的切换… · 压力建立 · 流量验证与泄漏检查
洁净输送系统启动切换
19
输送过程中的洁净度维持
目标=持续吹扫 · 压力控制 · 防倒灌
输送过程洁净度维持
20
泄漏检测与保压试验
目标=氦检漏 · 压力衰减法 · 示踪气体法在吹扫置换与输送系统中的应…
泄漏检测保压试验
21
典型特气管路吹扫置换案例
目标=硅烷 · 氨气 · 氯气等不同特气管路的差异化操作与问题…
典型特气管路吹扫…目标=硅烷
22
CVD/ALD设备特气管路实战
目标=前驱体输送 · 吹扫周期 · 残留控制与工艺匹配的工程任务
CVD/ALD设备特气管路实战
23
离子注入与刻蚀设备特气管路实战
目标=腐蚀性 · 易燃性气体管路吹扫置换与洁净输送要点
离子注入刻蚀设备特气管路…
24
吹扫置换程序文件与标准化
目标=SOP编写 · 参数表 · 检查清单
吹扫置换程序文件标准化
25
故障排查与异常处置
目标=吹扫不达标 · 置换效率低 · 检测异常
故障排查异常处置
26
维护与再吹扫工程
目标=管路改造 · 阀门更换 · 长期停用后重启的吹扫置换方案与验证
维护再吹扫工程
27
自动化与智能控制
目标=PLC · DCS在吹扫置换与洁净输送中的顺序控… · 联锁
自动化智能控制
28
系统验证与质量保证
目标=IQ/OQ/PQ框架在特气管路…
系统验证质量保证
29
成本、效率与可靠性优化
目标=吹扫气体消耗 · 时间优化 · 设备寿命与全生命周期成本分析
成本效率
30
综合实战项目
目标=针对一条典型半导体特气管路 · 完成从设计审查 · 吹扫置换方案
综合实战项目目标=针对一条典…