VIP17
本课程属于：016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 17 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

半导体特气供气柜、VMB与安全联锁系统工程

共计 30 章节
可可资料掘金营 · 点击在线试看
01
特气系统总览
目标=半导体特气种类与危害特性 · 供气柜与VMB在厂务系统中的位置 · 安全联锁工程的目标与边界
特气系统总览目标=半导体特气…
02
供气柜工程对象解析
目标=气瓶柜 · 阀箱柜 · 吹扫盘面
供气柜工程对象解…目标=气瓶柜
03
VMB工程对象解析
目标=阀分配箱的支路拓扑 · 阀门配置 · 压力与流量监测点
VMB工程对象解析
04
特气安全法规与标准
目标=SEMI S2/S6 · NFPA 318 · GB 50646等对供气柜
特气安全法规标准
05
气体特性与材料兼容
目标=腐蚀性 · 毒性 · 易燃性气体对管路
气体特性材料兼容
06
供气柜气路设计实战
目标=从气瓶接口到VMB入口的减压 · 过滤 · 吹扫
供气柜气路设计实…VMB
07
VMB支路设计实战
目标=多工艺设备供气分配 · 支路隔离 · 压力独立调节与交叉污染防控
VMB支路设计实战
08
吹扫与置换工程
目标=N2吹扫循环 · 真空辅助置换 · 吹扫时间计算与残留气体浓度验证
吹扫置换工程
09
泄漏侦测与传感器布置
目标=电化学 · 红外 · 催化燃烧
泄漏侦测传感器布置
10
排风与 enclosure 安全
目标=负压维持 · 风量联锁 · 排风失效应急策略与柜体密封等级
enclosure排风
11
安全联锁系统架构
目标=PLC · 安全继电器 · DCS/SCADA
安全联锁系统架构PLC
12
联锁逻辑设计实战
目标=气瓶更换 · 吹扫 · 供气
联锁逻辑设计实战目标=气瓶更换
13
紧急切断与放空系统
目标=ESO按钮 · 紧急切断阀 · 放空阀
紧急切断放空系统
14
火灾与气体报警联动
目标=火焰探测 · 烟感 · 气体报警与供气柜/VMB切断
火灾气体报警联动
15
电气控制与防爆
目标=本安回路 · 防爆等级 · 接地与屏蔽
电气控制防爆
16
气瓶更换安全操作
目标=更换前确认 · 吹扫置换 · 泄漏测试
气瓶更换安全操作目标=更换前确认
17
VMB切换与维护操作
目标=支路隔离 · 在线/离线切换 · 过滤器更换
VMB切换
18
调试与验收实战
目标=单点测试 · 回路测试 · 联锁功能测试
调试验收实战
19
故障排查与应急响应
目标=常见泄漏 · 误报警 · 联锁拒动/误动
故障排查应急响应
20
预防性维护与寿命管理
目标=阀门 · 传感器 · 控制器
预防性维护寿命管理
21
变更管理与MOC
目标=供气柜/VMB改造 · 新增支路 · 联锁逻辑修改的风险评估与审批流程
MOC变更管理
22
人员培训与资质
目标=特气操作人员 · 维护人员 · 安全联锁工程师的培训矩阵与实操考核
人员培训资质
23
典型供气柜工程案例
目标=某晶圆厂特气柜从选型 · 安装 · 调试到联锁投用的完整项目复盘
典型供气柜工程案…目标=某晶圆厂特…
24
典型VMB工程案例
目标=多腔体刻蚀设备VMB分配系统的… · 施工与联锁集成
VMB典型
25
安全联锁失效案例
目标=误旁路 · 传感器漂移 · PLC程序缺陷导致的事故分析与改进措…
安全联锁失效案例目标=误旁路
26
数字化与智能监控
目标=气体柜/VMB数据采集 · 远程诊断 · 预测性维护与网络安全基础
数字化智能监控
27
系统集成与厂务接口
目标=供气柜/VMB与厂务监控 · 消防 · 排风
系统集成厂务接口
28
成本与可靠性权衡
目标=设备选型 · 冗余配置 · 联锁等级与全生命周期成本的工程决策
成本可靠性权衡
29
综合实战任务
目标=给定工艺需求 · 完成供气柜与VMB的P&ID · 联锁逻辑图与安全分析报告
综合实战任务目标=给定工艺需…
30
课程总结与能力评估
目标=核心知识回顾 · 工程能力自评 · 持续学习路径与行业资源
课程总结能力评估