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高端制造、半导体装备与精密工程
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016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程
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《精密气路供气、压力调节与稳定控制系统工程》
VIP17
本课程属于:016-半导体特气、精密气液路与流体控制工程
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精密气路供气、压力调节与稳定控制系统工程
共计 30 章节
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01
精密气路系统总体认知
目标=精密气路供气 · 压力调节与稳定控制系统的定义 · 组成
精密气路系统总体…
目标=精密气路供…
02
气源品质与供气系统架构
目标=压缩空气站 · 干燥净化设备 · 储气罐
气源品质
供气系统架构
03
精密气路元件识别与选型
目标=过滤器 · 减压阀 · 精密调压阀
精密气路元件识别
选型
04
气路管路与接头工程
目标=管径计算 · 管路布局 · 接头密封
气路管路
接头工程
05
压力调节基础回路搭建
目标=直动式与先导式调压原理 · 开环调压回路搭建与静态压力设定
压力调节基础回路…
目标=直动式
06
压力稳定性影响因素分析
目标=气源波动 · 负载变化 · 温度漂移
压力稳定性影响因…
目标=气源波动
07
精密减压阀与电空调压技术
目标=机械精密调压阀 · 电气比例阀 · 伺服调压阀的工作特性与适用工况
精密减压阀
电空调压技术
08
压力闭环控制原理与实现
目标=压力传感器反馈 · PID控制算法 · 控制周期与执行器驱动的闭环系统搭建
压力闭环控制原理
实现
09
压力稳定控制回路调试
目标=PID参数整定 · 超调抑制 · 稳态误差消除与抗扰动性能测试
压力稳定控制回路…
PID
10
供气压力多级调节与分区控制
目标=多支路独立调压 · 分级减压 · 压力分区与互不干扰的供气方案
供气压力多级调节
分区控制
11
大流量与微小流量供气稳定控制
目标=不同流量需求下的调压策略 · 流量扰动补偿与稳压罐容设计
大流量
微小流量供气稳定…
12
真空与正压复合气路控制
目标=真空发生 · 正负压切换 · 真空压力调节与稳定控制在精密工况中的…
真空
正压复合气路控制
13
气路系统动态建模与仿真
目标=基于气体状态方程 · 管路容阻模型与调压阀动态特性的系统仿…
气路系统动态建模
仿真
14
压力传感器与信号调理
目标=压力变送器选型 · 信号滤波 · 采样同步与抗电磁干扰的工程措施
压力传感器
信号调理
15
电气比例压力控制系统实战
目标=比例阀驱动 · 指令标定 · 死区补偿与压力跟随控制实验
电气比例压力控制…
目标=比例阀驱动
16
精密气路供气系统泄漏检测与治理
目标=泄漏定位 · 流量法检漏 · 密封改进与长期保压验证
精密气路供气系统…
治理
17
气源波动抑制与稳压罐优化
目标=储气罐容积计算 · 缓冲罐配置 · 脉动衰减与供气压力前馈补偿
气源波动抑制
稳压罐优化
18
温度对压力稳定性的影响与补偿
目标=气体温度变化 · 环境温漂 · 热交换与温度补偿控制策略
温度对压力稳定性…
补偿
19
精密气路系统洁净度控制
目标=颗粒 · 油分 · 水分对压力稳定与元件寿命的影响及过滤…
精密气路系统洁净…
目标=颗粒
20
压力稳定控制系统抗干扰设计
目标=负载突变 · 上游压力波动 · 电磁干扰与振动干扰的抑制方法
压力稳定控制系统…
目标=负载突变
21
冗余与安全供气设计
目标=双路供气切换 · 安全阀 · 失效保护
冗余
安全供气设计
22
精密气路压力控制中的数字控制技术
目标=单片机 · PLC · DSP与工业PC在压力稳定控制中的实…
精密气路压力控制
数字控制技术
23
压力稳定控制算法进阶
目标=前馈-反馈复合控制 · 模糊PID · 自适应控制与预测控制在气路中的应用
压力稳定控制算法…
目标=前馈
24
精密气路系统集成与布线
目标=控制柜布局 · 气电分离 · 接地屏蔽
精密气路系统集成
布线
25
典型精密气路供气系统案例
目标=半导体设备 · 分析仪器 · 医疗呼吸设备或精密测试台的气路方案剖…
典型精密气路供气…
目标=半导体设备
26
压力调节与稳定控制系统的标定与校准
目标=压力标准器 · 校准流程 · 不确定度分析与周期检定
压力调节
稳定控制系统的标…
27
系统性能测试与验收
目标=压力稳定性 · 响应时间 · 耗气量
系统性能测试
验收
28
故障诊断与排除实战
目标=压力振荡 · 调压失效 · 响应迟滞
故障诊断
排除实战
29
精密气路系统运维与寿命管理
目标=日常点检 · 易损件更换 · 预防性维护与运行数据趋势分析
精密气路系统运维
寿命管理
30
综合工程实战
目标=面向指定精密工况 · 完成供气 · 调压与稳定控制系统的方案设计
综合工程实战
目标=面向指定精…
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