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013-洁净室环境控制

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20门 系列课程
半导体工艺与制造设备 所属方向
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01
《洁净室FFU选型与温湿度调节参数优化实践》
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02
《洁净室HEPA过滤器与DOP检漏结果判定方法》
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03
《洁净室HEPA过滤器与压差控制协同调试思路》
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04
《洁净室HEPA过滤器更换周期与粒子计数验证方法》
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05
《洁净室ISO 14644与换气次数不足时优化方法》
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06
《洁净室ISO 14644与气流组织联合故障排查》
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07
《洁净室压差控制与FFU群控调优方案》
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08
《洁净室压差控制与气流组织验证工程实践》
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09
《洁净室压差控制与粒子计数联合验证工程案例》
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10
《洁净室微生物监测与粒子计数联合调试》
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11
《洁净室换气次数与压差控制参数配置与工程调优》
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12
《洁净室换气次数与温湿度调节参数调优实践》
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13
《洁净室洁净度等级与FFU群控系统调试方案》
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14
《洁净室洁净度等级与微生物监测联合调试方案》
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15
《洁净室环境控制实战方案》
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16
《洁净室粒子计数与HEPA过滤器更换决策》
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17
《洁净室粒子计数与压差控制协同调试》
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18
《洁净室粒子计数与温湿度调节协同调试方法》
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19
《洁净室设计规范与HEPA过滤器选型参数配置实践》
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20
《洁净室设计规范与温湿度调节联合调试与故障定位实战》
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