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洁净室设计规范与温湿度调节联合调试与故障定位实战

共计 30 章节
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01
洁净室概述
洁净室定义 · 分级标准（ISO 14644-1） · 应用领域（半导体
洁净室概述洁净室定义
02
洁净室设计基础
气流组织原理（层流 · 乱流） · 压差控制原则
洁净室设计基础气流组织原理
03
洁净室围护结构
墙面 · 天花板 · 地板材料选择（彩钢板
洁净室围护结构墙面
04
洁净室HVAC系统架构
空气处理机组（AHU） · 高效过滤器（HEPA/ULPA） · 风机过滤单元（FFU）布局
HVAC洁净室
05
洁净室风量计算
基于换气次数的送风量计算 · 排风量平衡 · 新风量确定方法
洁净室风量计算基于换气次数的送…
06
洁净室压差控制
压差梯度设计（正压/负压） · 压差传感器布置 · 压差报警设定值
洁净室压差控制压差梯度设计
07
洁净室温湿度标准
不同等级洁净室的温湿度范围（22±2… · 45±5%RH） · 工艺对温湿度的特殊要求
洁净室温湿度标准不同等级洁净室的…
08
温湿度传感器选型与布置
精度要求 · 响应时间 · 安装位置（回风口
温湿度传感器选型布置
09
冷热源系统设计
冷水机组 · 热水锅炉 · 恒温恒湿机组选型
冷热源系统设计冷水机组
10
加湿与除湿系统
干蒸汽加湿 · 电极加湿 · 转轮除湿
加湿除湿系统
11
再热系统设计
电加热 · 热水盘管再热 · 再热量的精确控制策略
再热系统设计电加热
12
洁净室自控系统（BAS/BMS）
DDC控制器 · 传感器网络 · 执行器（电动阀
BAS/BMS洁净室自控系统
13
温湿度控制逻辑
PID控制原理 · 串级控制（主环温度/湿度 · 副环送风温度）
温湿度控制逻辑PID
14
联合调试准备
调试团队组成 · 调试计划编制 · 仪器仪表校准（风速仪
联合调试准备调试团队组成
15
风平衡调试
风量罩测量送风口风量 · 调节风阀 · 确保各房间换气次数达标
风平衡调试风量罩测量送风口…
16
压差调试
从核心区向外逐级调节 · 压差梯度验证 · 门开启时压差波动测试
压差调试从核心区向外逐级…
17
温湿度静态调试
设定点稳定测试 · 24小时温湿度波动记录 · 均匀性测试（多点测量）
温湿度静态调试设定点稳定测试
18
温湿度动态调试
模拟人员/设备热湿负荷 · 观察系统响应速度与超调量
温湿度动态调试模拟人员
19
自控系统联调
传感器信号校准 · PID参数整定（Ziegler-Ni… · 执行器动作测试
自控系统联调传感器信号校准
20
联合调试中的常见问题
温湿度耦合效应 · 送风温度过低导致结露 · 压差与温湿度相互影响
联合调试常见问题
21
温湿度解耦控制策略
前馈补偿 · 解耦矩阵 · 基于模型的预测控制（MPC）简介
温湿度解耦控制策…前馈补偿
22
节能调试技巧
变风量（VAV）与变水温策略 · 夜间模式/待机模式设定 · 热回收系统优化
节能调试技巧VAV
23
高效过滤器检漏（DOP/PAO测试）
气溶胶发生 · 光度计扫描 · 泄漏率判定标准
DOP/PAO高效过滤器检漏
24
洁净室恢复能力测试
自净时间测试（100:1恢复时间） · 验证气流组织有效性
洁净室恢复能力测…自净时间测试
25
温湿度均匀性验证
工作区网格化布点 · 垂直温差测试 · 水平温差测试
温湿度均匀性验证工作区网格化布点
26
极端工况测试
夏季极端高温高湿 · 冬季极端低温低湿 · 系统最大负荷运行测试
极端工况测试夏季极端高温高湿
27
调试数据记录与分析
趋势图分析 · 数据报表生成 · 偏差原因追溯（鱼骨图）
调试数据记录分析
28
调试报告编写
测试数据汇总 · 合格判定 · 遗留问题清单
调试报告编写测试数据汇总
29
合规性验证
对照ISO 14644 · GB 50073 · GMP/FDA要求进行逐项检查
合规性验证ISO
30
课程总结与案例分享
典型洁净室（电子厂房 · 手术室）联合调试案例复盘 · 常见失败教训
课程总结案例分享