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013-洁净室环境控制
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《洁净室洁净度等级与FFU群控系统调试方案》
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洁净室洁净度等级与FFU群控系统调试方案
共计 30 章节
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01
洁净室基础概念
洁净室定义 · 洁净室分类(工业/生物) · 洁净室应用领域(半导体/制药/食品)
洁净室基础概念
洁净室定义
02
洁净度等级标准
ISO 14644-1标准 · GMP等级 · US FED STD 209E(已废…
洁净度等级标准
ISO
03
ISO 14644-1 等级详解
ISO 1-9级定义 · 每立方米最大允许粒子数 · 粒径分段(0.1μm/0.2μm/0…
ISO
14644
04
洁净室气流组织
单向流(层流) · 非单向流(乱流) · 混合流
洁净室气流组织
单向流
05
FFU(风机过滤单元)原理
FFU结构组成(风机/箱体/HEPA… · FFU工作原理 · FFU与AHU的区别
FFU
风机过滤单元
06
FFU关键参数
额定风量 · 机外静压 · 噪声等级
FFU
关键参数
07
FFU群控系统架构
系统拓扑图(管理层/控制层/设备层) · BACnet/IP协议 · Modbus RTU/TCP协议
FFU
群控系统架构
08
群控系统硬件组成
DDC控制器 · 变频器(VFD) · 压差传感器
群控系统硬件组成
DDC
09
群控系统软件功能
实时监控 · 趋势记录 · 报警管理
群控系统软件功能
实时监控
10
FFU地址分配与组网
IP地址规划 · MAC地址绑定 · RS485总线拓扑
FFU
地址分配
11
FFU电机类型与调速方式
EC电机(电子换向) · AC电机 · 10V调速
FFU
电机类型
12
洁净室压差控制
压差梯度原理 · 正压/负压控制 · 压差传感器安装位置
洁净室压差控制
压差梯度原理
13
FFU群控调试前准备
图纸审查(RCP图/控制点位图) · 工具清单(万用表/笔记本电脑/调试软… · 安全注意事项
FFU
群控调试前准备
14
单台FFU调试步骤
上电检查 · 电机转向确认 · 转速手动测试
FFU
单台
15
FFU通讯调试
Modbus地址写入 · 波特率设置(9600/19200/3… · 数据位/停止位/校验位配置
FFU
通讯调试
16
群控系统点表配置
AI/AO/DI/DO点表定义 · 点表导入DDC · 点表与上位机绑定
群控系统点表配置
AI/AO/DI/DO
17
上位机画面组态
监控主界面设计 · FFU运行状态显示(运行/停止/故障… · 颜色编码规范(绿色/红色/黄色/灰色…
上位机画面组态
监控主界面设计
18
FFU转速闭环控制
PID控制原理 · 设定值(风速/风量/压差) · PID参数整定(P/I/D)
FFU
转速闭环控制
19
洁净室风速均匀性调试
风速测试网格法(ISO 14644-… · 风速仪校准 · 均匀性判定标准(≤20%偏差)
洁净室风速均匀性…
ISO
20
洁净室自净时间测试
自净时间定义 · 测试方法(粒子衰减法) · 自净时间要求(ISO 14644-3
洁净室自净时间测…
自净时间定义
21
FFU群控联动逻辑
与AHU联动 · 与排风系统联动 · 与消防系统联动(火灾时FFU关闭/排…
FFU
群控联动逻辑
22
FFU故障诊断与报警
电机过载报警 · 过滤器堵塞报警(压差开关/传感器) · 通讯故障报警
FFU
故障诊断
23
群控系统冗余与容错
主备控制器切换 · 通讯冗余(双网口) · 电源冗余(UPS/双路供电)
群控系统冗余
容错
24
洁净室节能控制策略
变风量控制(DCV) · 夜间模式/假日模式 · FFU休眠策略
洁净室节能控制策…
DCV
25
FFU群控系统验证与确认
IQ(安装确认) · OQ(运行确认) · PQ(性能确认)
FFU
群控系统验证
26
洁净室环境监测系统集成
温湿度监测 · 压差监测 · 粒子监测(在线粒子计数器)
洁净室环境监测系…
温湿度监测
27
FFU群控系统常见问题与处理
通讯中断处理 · 风速波动处理 · 噪声超标处理
FFU
群控系统常见问题
28
洁净室调试报告编写
调试记录模板 · 测试数据汇总 · 偏差分析
洁净室调试报告编…
调试记录模板
29
FFU群控系统维护保养
过滤器更换周期(HEPA 3-5年/… · 电机轴承润滑 · 传感器校准周期(每年一次)
FFU
群控系统维护保养
30
洁净室与FFU群控未来趋势
物联网(IoT)在洁净室中的应用 · 数字孪生技术 · AI预测性维护
FFU
洁净室
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