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洁净室FFU选型与温湿度调节参数优化实践

共计 30 章节
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01
洁净室基础概念
洁净室定义 · ISO分级标准（ISO 14644-… · 洁净室应用领域（半导体
洁净室基础概念洁净室定义
02
洁净室气流组织原理
单向流（层流）与非单向流（乱流）的区… · 气流速度与换气次数要求 · 压差控制原理
洁净室气流组织原…单向流
03
FFU（风机过滤单元）工作原理
FFU结构组成（风机 · HEPA/ULPA过滤器 · 箱体）
FFU风机过滤单元
04
FFU核心参数解析
风量（CFM/m³/h） · 机外静压（Pa） · 噪声（dB(A)）
FFU核心参数解析
05
FFU选型第一步
洁净室等级与风量计算 · 计算总送风量 · 确定FFU数量（N=总风量/单台FF…
FFU选型第一步
06
FFU选型第二步
静压与阻力匹配 · FFU机外静压曲线 · 系统阻力计算（管道
FFU选型第二步
07
FFU选型第三步
噪声与振动控制 · 减振器选型 · 吊顶结构隔振设计
FFU选型第三步
08
FFU选型第四步
能效与电机类型 · EC电机节能原理（PWM调速） · 能效比（W/CFM）评估
FFU选型第四步
09
FFU选型第五步
控制系统与通讯协议：0-10V调速 · Modbus RTU/TCP · BACnet
FFU选型第五步
10
FFU选型综合案例
100级（ISO 5）半导体光刻区F… · 静压 · 数量
FFU选型综合案例
11
温湿度调节基础
焓湿图（Psychrometric… · 干球温度 · 湿球温度
温湿度调节基础Psychrometri…
12
洁净室热湿负荷计算
显热负荷（设备 · 人员 · 照明
洁净室热湿负荷计…显热负荷
13
空调系统（MAU+AHU）架构
新风机组（MAU）预处理 · 循环空调箱（AHU）再处理 · 干盘管（DCC）与FFU组合
MAU+AHU空调系统
14
温湿度控制策略
定露点控制 · 变露点控制 · 再热控制
温湿度控制策略定露点控制
15
MAU（新风机组）参数优化
新风量计算（满足正压与人员卫生） · 表冷器/加热器选型 · 加湿段（等温/等焓）选择
MAU新风机组
16
干盘管（DCC）与冷冻水系统
干工况运行原理 · 冷冻水供回水温度（12℃/17℃） · 露点温度监控
DCC干盘管
17
PID控制基础
比例（P） · 积分（I） · 微分（D）作用
PID控制基础
18
温湿度传感器选型与校准
温度传感器（PT100/热电偶） · 湿度传感器（电容式/电阻式） · 精度等级
温湿度传感器选型校准
19
FFU与空调系统联动控制
FFU转速与室内温度耦合关系 · 串级控制（主环温度/副环FFU转速） · 解耦策略
FFU空调系统联动控制
20
参数优化目标函数
能耗最小化（kW） · 温湿度波动最小化（±0.5℃/±2%… · 综合性能指标（IPLV）
参数优化目标函数kW
21
基于遗传算法的参数优化
遗传算法原理（选择 · 交叉 · 变异）
基于遗传算法的参…遗传算法原理
22
基于机器学习的预测控制
LSTM神经网络预测温湿度变化 · MPC（模型预测控制）框架 · 在线学习与自适应调整
基于机器学习的预…LSTM
23
CFD仿真在FFU布局优化中的应用
CFD软件（Fluent/OpenF… · 速度场与温度场分析 · FFU布置间距优化
CFDFFU
24
洁净室节能运行策略
FFU夜间降速运行 · 温湿度设定值浮动（季节自适应） · 免费冷却（Free Cooling）…
洁净室节能运行策…FFU
25
洁净室验证与测试
风速测试（热球风速仪） · 过滤器完整性测试（DOP/PAO） · 温湿度均匀性测试（9点/16点法）
洁净室验证测试
26
常见问题与故障诊断
FFU风量衰减（过滤器堵塞） · 温湿度超调（PID参数不当） · 结露问题（冷冻水温度过低）
常见问题故障诊断
27
案例研究一
半导体Fab厂FFU选型与温湿度优化… · ISO 5级 · 温湿度要求22±1℃/45±5%RH…
案例研究一Fab
28
案例研究二
生物制药洁净室（B+A级）FFU与H… · 生物安全柜排风补偿）
案例研究二B+A
29
案例研究三
数据中心洁净室（ISO 8级）高显热…
案例研究三ISO
30
课程总结与未来趋势
FFU技术发展（智能FFU · IoT集成） · 温湿度控制前沿（AIoT
课程总结未来趋势