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《Synopsys Sentaurus TCAD研发体系工程》
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Synopsys Sentaurus TCAD研发体系工程
共计 30 章节
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01
TCAD研发体系总览
目标=Sentaurus工具链构成 · 工艺与器件仿真分工 · 研发流程中的角色定位与数据流
TCAD
研发体系总览
02
Sentaurus Workbench项目工程化
目标=项目目录结构 · 实验管理 · 参数化扫描
Sentaurus
Workbench
03
工艺仿真基础
目标=Sentaurus Proce… · 网格定义 · 掺杂注入与扩散模型的选择与校准
工艺仿真基础
Sentaurus
04
先进工艺模块实战
目标=氧化 · 刻蚀 · 沉积
先进工艺模块实战
目标=氧化
05
器件结构生成与网格策略
目标=Sentaurus Struc… · 网格加密准则 · 仿真精度与效率平衡
器件结构生成
网格策略
06
Sentaurus Device物理模型体系
目标=漂移扩散 · 热力学 · 流体动力学模型的适用场景与参数提取
Sentaurus
Device
07
MOSFET器件仿真全流程
目标=Id-Vg/Id-Vd特性提取 · 阈值电压与迁移率模型校准 · 短沟道效应分析
MOSFET
器件仿真全流程
08
FinFET与GAA器件仿真
目标=三维结构构建 · 量子限制效应 · 寄生电容提取与工艺变异影响评估
FinFET
GAA
09
功率器件仿真专题
目标=IGBT · SiC MOSFET · GaN HEMT的物理模型选择与击穿…
功率器件仿真专题
IGBT
10
光电器件仿真专题
目标=太阳能电池 · 光电探测器 · LED的载流子输运与光学特性耦合仿真
光电器件仿真专题
目标=太阳能电池
11
Sentaurus Device Editor与SPICE模型提取
目标=器件仿真结果到紧凑模型的参数提…
Sentaurus
Device
12
混合模式仿真
目标=Sentaurus Devic… · CMOS反相器与SRAM单元仿真案例
混合模式仿真
Sentaurus
13
TCAD与版图/寄生参数协同
目标=Sentaurus Inter… · 互连RC对器件性能的影响
TCAD
版图
14
工艺变异与统计仿真
目标=Sentaurus Workb… · 蒙特卡洛方法 · 良率分析与鲁棒性设计
工艺变异
统计仿真
15
TCAD校准与实验对标
目标=SIMS · CV · IV数据导入
TCAD
校准
16
Sentaurus TCAD脚本自动化
目标=Tcl/Python脚本控制仿… · 批量提交 · 结果自动提取与可视化
Sentaurus
TCAD
17
Sentaurus Visual与数据分析
目标=结果可视化 · 曲线绘制 · 数据导出与报告生成自动化
Sentaurus
Visual
18
TCAD与DTCO协同
目标=设计工艺协同优化方法 · 标准单元性能预测与工艺窗口评估
TCAD
DTCO
19
先进节点工艺仿真挑战
目标=FinFET/纳米片工艺中的刻… · 沉积 · 应力与掺杂激活建模
先进节点工艺仿真…
FinFET
20
可靠性仿真专题
目标=NBTI · HCI · TDDB
可靠性仿真专题
NBTI
21
热仿真与电热耦合
目标=自热效应 · 热网络提取 · 功率器件电热协同仿真方法
热仿真
电热耦合
22
射频与高速器件仿真
目标=S参数提取 · fT/fmax计算 · 噪声模型与射频CMOS仿真
射频
高速器件仿真
23
存储器器件仿真
目标=DRAM · SRAM · Flash
存储器器件仿真
DRAM
24
传感器与MEMS仿真
目标=压阻 · 电容式传感器 · 微执行器的多物理场耦合仿真
MEMS
传感器
25
TCAD在工艺研发中的实战
目标=从工艺配方到器件性能的快速迭代…
TCAD
工艺研发
26
TCAD在器件研发中的实战
目标=新结构探索 · 性能预测与实验设计指导
TCAD
器件研发
27
TCAD在失效分析中的应用
目标=电学故障定位 · 工艺缺陷影响仿真与改进方案验证
TCAD
失效分析
28
TCAD仿真效率优化
目标=并行计算 · 网格自适应 · 模型简化与硬件资源管理
TCAD
仿真效率优化
29
TCAD研发体系中的质量保证
目标=仿真可重复性 · 结果验证 · 文档规范与知识沉淀
TCAD
研发体系
30
综合项目实战
目标=从工艺定义到器件优化 · 统计分析与报告输出的完整TCAD研发…
综合项目实战
目标=从工艺定义…
所属VIP或分类
同VIP:Sentaurus-MOS器件工艺建模与验证
同VIP:Sentaurus-SiC功率器件仿真工程
同VIP:Sentaurus-TCAD仿真流程自动化