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Sentaurus TCAD仿真流程自动化

共计 30 章节
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01
课程导入与自动化价值
目标=Sentaurus TCAD仿… · 适用场景 · 效率瓶颈与学习路线图
课程导入自动化价值
02
Sentaurus TCAD工具链概览
目标=Sentaurus Workb… · Structure Editor · Device
SentaurusTCAD
03
自动化脚本语言基础
目标=Tcl在Sentaurus W… · 变量 · 控制流与命令执行机制
自动化脚本语言基…Tcl
04
SWB项目结构与实验管理
目标=项目目录 · 节点 · 实验树
SWB项目结构
05
命令行与批处理模式
目标=Sentaurus工具的命令行… · 批处理提交 · 日志捕获与退出状态处理
命令行批处理模式
06
参数化仿真入门
目标=使用SWB变量与预定义参数实现… · 尺寸 · 偏压等条件的批量扫描
参数化仿真入门SWB
07
自动化生成Sentaurus Structure Editor脚本
目标=基于模板与参数替换构建可复用的…
SentaurusStructure
08
自动化生成Sentaurus Device输入文件
目标=利用Tcl模板动态生成物理模型 · 电极与求解设置
SentaurusDevice
09
网格策略自动化
目标=根据结构参数自动生成与调整Me… · 兼顾精度与收敛性
网格策略自动化Me
10
工艺仿真自动化
目标=Sentaurus Proce… · 扩散 · 氧化等步骤的参数化与流程串联
工艺仿真自动化Sentaurus
11
器件仿真自动化
目标=Sentaurus Devic… · 热力学与隧穿模型的自动配置与切换
器件仿真自动化Sentaurus
12
仿真任务调度与并行化
目标=SWB作业提交 · 队列管理 · 多实验并行执行与资源监控
仿真任务调度并行化
13
结果数据自动提取
目标=使用Tcl与SWB工具从plt · csv · log文件中提取Id-Vg
结果数据自动提取Tcl
14
自动化数据后处理与可视化
目标=调用Sentaurus Vis… · 报告与对比分析
自动化数据后处理可视化
15
自动化优化循环
目标=将仿真流程与参数优化算法结合 · 实现目标驱动的自动迭代
自动化优化循环目标=将仿真流程
16
基于Python的Sentaurus流程封装
目标=使用Python调用SWB命令… · 管理文件与解析结果
PythonSentaurus
17
版本控制与可复现性
目标=用Git管理仿真脚本 · 输入文件与结果 · 确保实验可追溯
版本控制可复现性
18
自动化中的错误处理与鲁棒性
目标=检测仿真失败 · 自动重试 · 日志分析与异常恢复策略
自动化错误处理
19
典型器件案例
目标=MOSFET的自动化Id-Vg…
典型器件案例MOSFET
20
典型器件案例
目标=FinFET或纳米片器件的结构…
典型器件案例FinFET
21
典型工艺案例
目标=CMOS工艺流程的自动化串联与…
典型工艺案例CMOS
22
典型器件案例
目标=功率器件击穿特性与输出特性的自…
典型器件案例目标=功率器件击…
23
光电器件案例
目标=太阳能电池或光电探测器的自动化…
光电器件案例目标=太阳能电池…
24
自动化中的物理模型校准
目标=基于实验数据自动调整模型参数并…
自动化物理模型校准
25
设计空间探索与敏感性分析
目标=自动生成DOE矩阵 · 执行仿真并统计关键参数影响
设计空间探索敏感性分析
26
机器学习辅助的TCAD自动化
目标=使用代理模型加速参数扫描与优化…
TCAD机器学习辅助的
27
云端与容器化部署
目标=将Sentaurus自动化流程…
云端容器化部署
28
自动化流程的模块化设计
目标=构建可复用函数库 · 配置文件与项目模板
自动化流程的模块…目标=构建可复用…
29
综合实战
目标=从需求到交付的完整自动化项目—… · 脚本开发 · 执行与报告生成
综合实战目标=从需求到交…
30
课程总结与进阶方向
目标=回顾核心技能 · 常见陷阱 · 持续集成与未来自动化趋势
课程总结进阶方向