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Sentaurus器件电学特性分析与优化

共计 30 章节

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课程导入与Sentaurus工具链概览

目标=学习目标 · 器件电学特性分析流程 · Sentaurus TCAD各模块（…

Sentaurus课程导入

Sentaurus Workbench项目搭建与仿真流程管理

目标=创建项目 · 组织实验节点 · 参数化扫描

SentaurusWorkbench

器件结构建模与网格划分策略

目标=SDE几何建模 · 掺杂分布定义 · 接触电极设置

器件结构建模网格划分策略

基础半导体物理模型与材料参数校准

目标=漂移扩散模型 · 迁移率模型 · 复合模型

基础半导体物理模…材料参数校准

平衡态与低频电学特性仿真

目标=能带图 · 载流子浓度分布 · 内建电势

平衡态低频电学特性仿真

直流I-V特性仿真与分析

目标=输出特性 · 转移特性 · 导通电阻

击穿特性与雪崩效应仿真

目标=碰撞电离模型 · 击穿电压提取 · 电场分布分析

击穿特性雪崩效应仿真

瞬态与开关特性仿真

目标=开关时间 · 反向恢复 · 栅极电荷

瞬态开关特性仿真

交流小信号与频率特性仿真

目标=Y参数 · S参数提取 · 截止频率fT

交流小信号频率特性仿真

噪声特性仿真与分析

目标=热噪声 · 闪烁噪声 · 散粒噪声模型设置

噪声特性仿真分析

温度特性与自热效应仿真

目标=温度依赖模型 · 热网络耦合 · 自热对I-V特性与可靠性的影响分析

温度特性自热效应仿真

MOSFET电学特性仿真专题

目标=短沟道效应 · DIBL · 亚阈值摆幅

MOSFET电学特性仿真专题

FinFET与GAA器件电学特性仿真

目标=三维结构建模 · 量子限制效应 · 寄生电容提取

功率器件（LDMOS/IGBT/肖特基二极管）电学特性仿真

目标=耐压结构设计 · 导通特性 · 开关损耗与安全工作区评估

LDMOS/IGBT功率器件

光电器件（光电二极管/太阳能电池/LED）电学特性仿真

目标=光生载流子 · 量子效率 · 暗电流

LED光电器件

存储器器件（Flash/DRAM/RRAM）电学特性仿真

目标=编程/擦除特性 · 保持特性 · 读写窗口与操作电压优化

Flash/DRAM/R…存储器器件

传感器与MEMS器件电学特性仿真

目标=压阻/电容传感机理 · 灵敏度分析 · 接口电路耦合仿真

器件电学特性实验数据提取与仿真校准

目标=从测量数据中提取关键参数 · 自动优化校准流程 · 误差评估与模型修正

器件电学特性实验…仿真校准

Sentaurus与实验数据对比及模型验证

目标=TCAD仿真结果与实测I-V/… · 偏差来源分析与模型置信度评估

Sentaurus实验数据对比

基于TCAD的器件性能优化方法

目标=设计变量选取 · 目标函数定义 · 单变量与多变量扫描

Sentaurus与优化算法联合仿真

目标=Python/Shell脚本调… · 遗传算法 · 粒子群优化

Sentaurus优化算法联合仿真

工艺-器件联合仿真与电学特性优化

目标=SPROCESS与SDEVIC… · 工艺参数波动对电学特性的影响 · 工艺窗口评估

工艺器件联合仿真

可靠性电学特性仿真

目标=热载流子注入 · 负偏压温度不稳定性 · 时间依赖介质击穿

可靠性电学特性仿…目标=热载流子注…

统计与变异性仿真

目标=随机掺杂波动 · 线边缘粗糙度 · 工艺角仿真

统计变异性仿真

混合模式电路-器件仿真

目标=Sentaurus Devic… · 驱动电路与功率器件联合仿真 · 系统级电学特性评估

混合模式电路器件仿真

射频与高速器件电学特性优化案例

目标=毫米波器件 · 行波电极 · 寄生参数提取与优化

射频高速器件电学特性…

先进节点器件电学特性挑战与仿真对策

目标=量子输运 · 非平衡格林函数 · 弹道输运

先进节点器件电学…仿真对策

宽禁带半导体器件电学特性仿真专题

目标=GaN HEMT · SiC MOSFET的极化效应 · 界面陷阱

宽禁带半导体器件…GaN

器件电学特性仿真自动化与结果可视化

目标=Sentaurus Workb… · 批量结果提取 · 数据可视化与报告自动生成

器件电学特性仿真…结果可视化

综合实战项目

目标=针对给定器件指标 · 完成从结构建模 · 电学特性仿真

综合实战项目目标=针对给定器…