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Sentaurus先进器件结构优化工程

共计 30 章节
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01
课程导入与Sentaurus工具链概览
目标=先进器件结构优化工程的目标 · 典型工作流 · Sentaurus TCAD各模块（…
Sentaurus课程导入
02
器件结构建模基础
目标=SDE中几何建模 · 掺杂分布 · 电极定义
器件结构建模基础SDE
03
Sentaurus Device仿真核心
目标=漂移-扩散模型 · 载流子输运方程 · 边界条件
SentaurusDevice
04
先进MOSFET结构优化任务
目标=FinFET · GAA nanosheet · nanowire等三维结构的SDE建…
MOSFET先进
05
短沟道效应与结构参数扫描
目标=针对DIBL · 亚阈值摆幅 · 阈值电压滚降
短沟道效应结构参数扫描
06
应变工程与迁移率模型
目标=在Sentaurus中引入Si… · 各向异性迁移率模型 · 应力对器件性能影响的仿真评估
应变工程迁移率模型
07
隧穿与量子修正模型
目标=直接隧穿 · 陷阱辅助隧穿 · 密度梯度量子修正
隧穿量子修正模型
08
先进器件中的寄生效应提取
目标=利用SDEVICE和SINSP… · 电阻 · RC延迟
先进器件寄生效应提取
09
功率器件结构优化
目标=IGBT · 功率MOSFET · 肖特基二极管在Sentaurus中的…
功率器件结构优化IGBT
10
击穿与雪崩仿真
目标=碰撞电离模型 · 雪崩击穿判据 · 电场分布提取
击穿雪崩仿真
11
异质结与化合物半导体器件
目标=GaN HEMT · SiC MOSFET在Sentaur… · 界面陷阱
异质结化合物半导体器件
12
光电器件结构优化
目标=LED · 光电探测器 · 太阳能电池在Sentaurus中的光…
光电器件结构优化LED
13
存储器件结构优化
目标=DRAM电容 · Flash浮栅 · RRAM
存储器件结构优化DRAM
14
工艺-器件联合仿真
目标=SPROCESS与SDEVIC… · 氧化 · 扩散
工艺器件联合仿真
15
网格与数值收敛优化
目标=自适应网格细化 · 网格质量评估 · 收敛失败诊断
网格数值收敛优化
16
器件结构参数化与自动优化
目标=使用Sentaurus Wor… · SDE参数化 · Python/Shell脚本实现结构…
器件结构参数化自动优化
17
实验设计与响应面方法
目标=在Sentaurus中结合DO… · 响应面模型 · 遗传算法进行多目标结构优化
实验设计响应面方法
18
变异性与可靠性仿真
目标=随机掺杂波动 · 线边缘粗糙度 · 工艺偏差对器件性能的影响
变异性可靠性仿真
19
热-电耦合仿真
目标=自热效应 · 热网络模型 · 温度对迁移率和阈值电压的影响
电耦合仿真目标=自热效应
20
射频与毫米波器件优化
目标=RF MOSFET · HBT · HEMT的S参数提取
射频毫米波器件优化
21
先进逻辑器件性能基准
目标=将Sentaurus仿真结果与… · 进行PPA（功率-性能-面积）评估与…
先进逻辑器件性能…Sentaurus
22
Sentaurus与TCAD校准
目标=基于实验数据（I-V · C-V · 迁移率）进行模型参数提取与校准
SentaurusTCAD
23
三维集成与先进封装结构
目标=TSV · 混合键合 · 3D堆叠器件的热-力-电多物理场仿真…
三维集成先进封装结构
24
传感器与MEMS结构优化
目标=压力传感器 · 加速度计 · 陀螺仪在Sentaurus中的多物理…
MEMS传感器
25
器件结构优化中的机器学习辅助
目标=使用机器学习代理模型加速Sen… · 结合Python进行数据驱动设计
器件结构优化机器学习辅助
26
Sentaurus脚本与自动化工作流
目标=TCL/Python脚本控制S… · SDEVICE · SVISUAL
Sentaurus脚本
27
先进器件结构优化案例一
目标=GAA nanosheet晶体… · 仿真设置 · 参数扫描到性能评估
先进器件结构优化…GAA
28
先进器件结构优化案例二
目标=GaN功率HEMT的击穿电压与…
先进器件结构优化…GaN
29
先进器件结构优化案例三
目标=3D NAND存储单元的结构与…
先进器件结构优化…NAND
30
课程总结与工程实践指南
目标=先进器件结构优化方法论回顾 · 常见陷阱 · 最佳实践
课程总结工程实践指南