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光子技术_硅光与光通信工程
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005-硅光制造与异质集成光子工程
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《异质集成光源与硅光耦合工程》
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本课程属于:005-硅光制造与异质集成光子工程
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异质集成光源与硅光耦合工程
共计 30 章节
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01
课程导入与工程对象界定
目标=异质集成光源与硅光耦合工程的定… · 技术范畴 · 典型应用场景与课程项目任务书
课程导入
工程对象界定
02
硅光平台与异质集成光源的材料体系
目标=硅 · III-V族 · 锗
硅光平台
异质集成光源的材…
03
异质集成光源的核心器件类型
目标=DFB · DBR · 微环
异质集成光源的核…
DFB
04
硅光波导与耦合结构基础
目标=条形波导 · 脊形波导 · 狭缝波导
硅光波导
耦合结构基础
05
异质集成工艺路线总览
目标=晶圆键合 · 微转印 · 倒装焊
异质集成工艺路线…
目标=晶圆键合
06
晶圆键合技术实战
目标=亲水键合 · 疏水键合 · 等离子体活化键合与金属键合的工艺步骤
晶圆键合技术实战
目标=亲水键合
07
微转印与拾取放置集成
目标=弹性印章制备 · 拾取释放力学 · 对准贴装精度与吞吐量评估
微转印
拾取放置集成
08
倒装焊与微凸点集成
目标=焊料选择 · 凸点制备 · 回流工艺
倒装焊
微凸点集成
09
异质外延生长集成光源
目标=III-V on Si 成核层 · 缓冲层 · 位错过滤与激光器外延结构设计
异质外延生长集成…
III-V
10
光源与硅波导的端面耦合工程
目标=模斑转换器 · 锥形波导 · 透镜集成与对准容差分析
光源
硅波导的端面耦合…
11
光源与硅波导的倏逝波耦合工程
目标=多层堆叠 · 渐变耦合 · 定向耦合器与绝热耦合器的设计方法
光源
硅波导的倏逝波耦…
12
光栅辅助耦合与垂直互连
目标=聚焦光栅 · 双光栅 · 光子晶体光栅与反射镜集成的耦合效率优…
光栅辅助耦合
垂直互连
13
耦合效率与带宽的协同优化
目标=模式匹配 · 折射率对比 · 波长依赖性
耦合效率
带宽的协同优化
14
异质集成光源的驱动与调制
目标=电流注入 · 电光调制 · 热光调谐与高速封装中的阻抗匹配
异质集成光源的驱…
调制
15
热管理与热光调谐工程
目标=热沉设计 · 热串扰抑制 · 波长锁定与温度不敏感封装方案
热管理
热光调谐工程
16
光学对准与封装工艺
目标=主动对准 · 被动对准 · 视觉对准
光学对准
封装工艺
17
异质集成光源的测试与表征
目标=L-I-V 曲线 · 光谱 · 远场
异质集成光源的测…
表征
18
硅光耦合器的设计仿真与优化
目标=FDTD · FDE · EME 与 BPM 方法在耦合结构设…
硅光耦合器的设计…
优化
19
异质集成光源的失效分析与可靠性
目标=暗线缺陷 · 快速退化 · 静电损伤
异质集成光源的失…
可靠性
20
异质集成光源与硅光耦合的版图设计
目标=流片规则 · 层定义 · 对准标记
异质集成光源
硅光耦合的版图设…
21
典型异质集成光源模块案例
目标=可调谐激光器 · 锁模激光器 · 光频梳与量子点光源的集成实现
典型异质集成光源…
目标=可调谐激光…
22
硅光收发模块中的光源耦合工程
目标=发射端集成 · 接收端本振耦合 · 偏振管理与封装架构
硅光收发模块
光源耦合工程
23
共封装光学与光互连中的异质集成光源
目标=CPO 架构 · 光引擎 · 光纤阵列耦合与热机械协同设计
共封装光学
光互连
24
异质集成光源在传感与测量中的应用
目标=片上光谱仪 · 陀螺仪 · 生物传感与激光雷达的光源耦合方案
异质集成光源
传感
25
异质集成光源在量子信息中的应用
目标=量子点单光子源 · 纠缠光源与硅光量子线路的耦合接口
异质集成光源
量子信息
26
异质集成光源的晶圆级测试与筛选
目标=在线测试 · 探针耦合 · 良率分析与已知良好芯片策略
异质集成光源的晶…
筛选
27
异质集成光源的封装材料与界面工程
目标=光学胶 · 底部填充 · 气密封装与界面反射控制
异质集成光源的封…
界面工程
28
异质集成光源与硅光耦合的自动化设计
目标=参数扫描 · 机器学习辅助优化与多目标优化流程
异质集成光源
硅光耦合的自动化…
29
异质集成光源与硅光耦合的产业现状与供应链
目标=代工厂 · 集成商 · 标准组织与成本驱动因素
异质集成光源
硅光耦合的产业现…
30
课程综合项目
目标=面向指定应用完成异质集成光源选… · 耦合结构设计 · 工艺规划
课程综合项目
目标=面向指定应…
所属VIP或分类
同VIP:III-V光电子器件与硅光平台集成
同VIP:PIC与EIC三维异质集成工程
同VIP:光子中介层与光电互连工程