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本课程属于：022-Applied Materials薄膜沉积与半导体制造工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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Applied Materials薄膜工艺良率提升工程

共计 30 章节
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01
课程导入与良率工程全景
目标=Applied Materia… · 良率定义与分类 · 良率提升工程的整体框架与关键指标
课程导入良率工程全景
02
薄膜工艺基础与良率关联
目标=PVD · CVD · ALD等Applied Materi…
薄膜工艺基础良率关联
03
良率数据采集与监控体系
目标=缺陷检测 · 膜厚与应力测量 · 在线与离线数据采集方法
良率数据采集监控体系
04
缺陷分析与根因定位方法
目标=缺陷分类 · 缺陷分布图分析 · FMEA与鱼骨图在薄膜工艺中的应用
缺陷分析根因定位方法
05
薄膜厚度均匀性优化实战
目标=针对Applied Mater… · 进行参数调优 · 靶材/喷淋头维护与良率提升案例
薄膜厚度均匀性优…Applied
06
薄膜应力与翘曲控制
目标=应力产生机理 · 应力测量方法 · 应力对良率的影响
薄膜应力翘曲控制
07
颗粒污染控制与良率提升
目标=颗粒来源分析 · 腔体清洁与维护周期优化 · Applied Materials设…
颗粒污染控制良率提升
08
薄膜附着力与界面工程
目标=附着力失效模式 · 界面处理与预处理工艺 · Applied Materials设…
薄膜附着力界面工程
09
刻蚀与薄膜集成良率问题
目标=薄膜沉积后的刻蚀选择比 · 侧壁保护与负载效应 · 结合Applied Material…
刻蚀薄膜集成良率问题
10
化学气相沉积工艺良率优化
目标=Applied Materia… · 压力 · 气体流量对薄膜质量的影响
化学气相沉积工艺…Applied
11
原子层沉积工艺良率提升
目标=ALD自限制反应特性 · 前驱体与吹扫时间优化 · Applied Materials…
原子层沉积工艺良…ALD
12
物理气相沉积工艺良率提升
目标=Applied Materia… · 功率与磁场分布对薄膜均匀性和缺陷的影…
物理气相沉积工艺…Applied
13
薄膜电学性能与良率关联
目标=电阻率 · 介电常数 · 漏电流等电学参数的表征方法及其与Ap…
薄膜电学性能良率关联
14
良率提升中的实验设计（DOE）
目标=DOE在Applied Mat… · 包括因子设计 · 响应曲面与良率预测模型
DOE良率提升
15
统计过程控制与良率预警
目标=SPC控制图 · Cpk分析 · Western Electric规则…
统计过程控制良率预警
16
设备维护与良率稳定性
目标=预防性维护（PM）周期优化 · 腔体匹配 · Applied Materials设…
设备维护良率稳定性
17
工艺漂移与良率衰减诊断
目标=长期工艺漂移的监测方法 · 漂移根因分析 · Applied Materials设…
工艺漂移良率衰减诊断
18
良率提升中的量测与Metrology
目标=膜厚 · 折射率 · 应力
Metrology良率提升
19
先进封装薄膜工艺良率挑战
目标=TSV · RDL · UBM等先进封装中的薄膜沉积问题
先进封装薄膜工艺…TSV
20
3D NAND与DRAM薄膜良率工程
目标=高深宽比结构中的薄膜覆盖 · 填充与缺陷控制 · Applied Materials设…
NANDDRAM
21
逻辑芯片金属化薄膜良率
目标=阻挡层 · 籽晶层与铜互连的薄膜工艺良率问题 · Applied Materials…
逻辑芯片金属化薄…目标=阻挡层
22
良率提升中的失效分析技术
目标=SEM · TEM · EDS
良率提升失效分析技术
23
工艺整合与良率协同
目标=薄膜工艺与光刻 · 刻蚀 · 清洗的整合窗口
工艺整合良率协同
24
良率提升项目管理与跨部门协作
目标=良率项目立项 · 目标设定 · 资源协调
良率提升项目管理跨部门协作
25
数据驱动的良率提升
目标=大数据与机器学习在Applie… · 包括缺陷预测与工艺参数推荐
数据驱动的良率提…Applie
26
良率成本与效益分析
目标=良率损失成本核算 · 改进措施的投资回报分析 · Applied Materials工…
良率成本效益分析
27
环境与安全因素对良率的影响
目标=洁净室环境 · 气体纯度 · 湿度控制等对薄膜良率的影响及Appl…
环境安全因素对良率的…
28
良率提升实战案例一
目标=针对某Applied Mate… · 从数据收集到根因确认与工艺改进的全过…
良率提升实战案例…Applied
29
良率提升实战案例二
目标=针对某Applied Mate… · 进行DOE优化与设备改造的完整项目复…
良率提升实战案例…Applied
30
课程总结与良率工程路线图
目标=回顾核心方法 · 工具与案例 · 制定个人或团队在Applied Ma…
课程总结良率工程路线图