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Sentaurus辐照与可靠性机理仿真

共计 30 章节
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01
课程导入与Sentaurus工具链概览
目标=辐照与可靠性仿真的意义 · Sentaurus TCAD模块组成 · 仿真流程与学习路径
Sentaurus课程导入
02
半导体辐照效应物理基础
目标=位移损伤 · 电离损伤 · 单粒子效应
半导体辐照效应物…目标=位移损伤
03
可靠性机理物理基础
目标=热载流子注入 · 负偏压温度不稳定性 · 时间依赖介质击穿
可靠性机理物理基…目标=热载流子注…
04
Sentaurus Workbench与仿真项目管理
目标=项目创建 · 参数化扫描 · 实验设计
SentaurusWorkbench
05
Sentaurus Structure Editor与器件建模
目标=二维/三维结构生成 · 掺杂分布 · 网格划分策略与辐照敏感区定义
SentaurusStructure
06
Sentaurus Device基础与物理模型选择
目标=漂移扩散 · 热力学 · 流体动力学模型及辐照相关模型库调用
SentaurusDevice
07
辐照损伤建模方法
目标=陷阱电荷注入 · 缺陷能级设置 · 载流子寿命退化与迁移率退化模型
辐照损伤建模方法目标=陷阱电荷注…
08
单粒子效应仿真实战
目标=重离子径迹生成 · 电荷沉积模型 · 瞬态电流与收集电荷提取
单粒子效应仿真实…目标=重离子径迹…
09
单粒子翻转与单粒子锁定仿真
目标=SRAM单元 · 锁存器与功率器件的SEU/SEL仿真…
单粒子翻转单粒子锁定仿真
10
总剂量效应仿真
目标=氧化层陷阱电荷与界面态建模 · 阈值电压漂移与漏电流退化仿真
总剂量效应仿真目标=氧化层陷阱…
11
剂量率效应与瞬态辐照仿真
目标=光电流产生 · 脉冲辐照响应 · 瞬态波形与峰值电流分析
剂量率效应瞬态辐照仿真
12
热载流子注入仿真
目标=沟道电场与载流子温度提取 · 界面态产生模型与器件退化预测
热载流子注入仿真目标=沟道电场
13
负偏压温度不稳定性仿真
目标=偏置温度应力条件设置 · 阈值电压漂移与恢复效应建模
负偏压温度不稳定…目标=偏置温度应…
14
时间依赖介质击穿仿真
目标=渗流路径统计 · 击穿时间分布与介质层可靠性评估
时间依赖介质击穿…目标=渗流路径统…
15
电迁移与应力迁移仿真
目标=电流密度与温度梯度耦合 · 原子通量计算与失效位置预测
电迁移应力迁移仿真
16
辐照与可靠性耦合仿真
目标=总剂量与热载流子协同效应 · 单粒子与老化叠加的仿真方法
辐照可靠性耦合仿真
17
Sentaurus TCAD与SPICE混合仿真
目标=器件级退化模型提取 · 电路级辐照响应与可靠性分析
SentaurusTCAD
18
辐照实验数据与仿真校准
目标=实验方案设计 · 数据提取 · 模型参数拟合与仿真验证流程
辐照实验数据仿真校准
19
版图与工艺对辐照可靠性的影响
目标=STI边缘 · 阱工程 · 保护环与版图加固的仿真对比
版图工艺对辐照可靠性…
20
先进工艺节点辐照可靠性仿真
目标=FinFET · 纳米片与围栅器件的辐照效应建模挑战与…
先进工艺节点辐照…FinFET
21
宽禁带半导体辐照可靠性仿真
目标=SiC · GaN器件的位移损伤 · 陷阱效应与退化机理仿真
宽禁带半导体辐照…SiC
22
光电器件辐照可靠性仿真
目标=图像传感器 · 激光器与光电探测器的辐照损伤与性能退…
光电器件辐照可靠…目标=图像传感器
23
功率器件辐照可靠性仿真
目标=IGBT · MOSFET与二极管在辐照下的击穿 · 锁定与退化行为
功率器件辐照可靠…IGBT
24
存储器辐照可靠性仿真
目标=DRAM · Flash与新型存储器的单粒子与总剂…
存储器辐照可靠性…DRAM
25
辐照可靠性仿真中的数值收敛与精度控制
目标=网格自适应 · 时间步长 · 求解器选择与误差分析
辐照可靠性仿真数值收敛
26
仿真结果后处理与可视化
目标=Sentaurus Visua… · Tecplot与Python脚本提取…
仿真结果后处理可视化
27
可靠性寿命预测与加速因子
目标=Arrhenius模型 · 电压加速模型与仿真辅助寿命外推
可靠性寿命预测加速因子
28
辐照加固设计仿真评估
目标=加固结构 · 材料选择与电路拓扑的仿真对比与优化
辐照加固设计仿真…目标=加固结构
29
多物理场耦合辐照可靠性仿真
目标=电-热-力耦合 · 辐照与温度协同的仿真方法与案例
多物理场耦合辐照…目标=电
30
课程综合实战
目标=从器件建模到辐照可靠性评估的完…
课程综合实战目标=从器件建模…