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Sentaurus试验与仿真相关性验证工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程视角建立
目标=Sentaurus试验与仿真相… · 工程价值 · 典型场景
课程导入工程视角建立
02
Sentaurus工具链与验证工作流
目标=TCAD工具组成 · 仿真输入输出 · 试验数据接口
Sentaurus工具链
03
半导体器件物理与模型映射
目标=漂移扩散 · 载流子输运 · 复合
半导体器件物理模型映射
04
试验设计与测量方案制定
目标=DOE方法 · 变量选择 · 样本规划
试验设计测量方案制定
05
试验数据采集与预处理
目标=电学/物理表征数据获取 · 数据清洗 · 异常值处理
试验数据采集预处理
06
仿真输入参数提取与不确定性量化
目标=从工艺 · 材料 · 几何和电学数据中提取参数
仿真输入参数提取不确定性量化
07
Sentaurus结构建模与网格策略
目标=器件结构构建 · 掺杂剖面 · 材料区域
Sentaurus结构建模
08
物理模型选择与参数校准
目标=迁移率 · 复合 · 雪崩
物理模型选择参数校准
09
仿真求解设置与收敛控制
目标=数值方法 · 迭代策略 · 耦合求解
仿真求解设置收敛控制
10
输出变量与试验观测量对齐
目标=将仿真内部变量映射到可测电学量 · 如IV · CV
输出变量试验观测量对齐
11
相关性度量与误差分析
目标=相关系数 · RMSE · 相对误差
相关性度量误差分析
12
校准与验证的区分及工程实施
目标=校准集与验证集划分 · 过拟合识别 · 模型外推能力评估与验证准则
校准验证的区分
13
MOSFET试验与仿真相关性验证实战
目标=转移特性 · 输出特性 · 阈值电压
MOSFET试验
14
BJT/HBT试验与仿真相关性验证实战
目标=Gummel图 · 电流增益 · 截止频率
BJT/HBT试验
15
功率器件试验与仿真相关性验证实战
目标=击穿电压 · 导通电阻 · 开关特性
功率器件试验仿真相关性验证实…
16
光电器件试验与仿真相关性验证实战
目标=量子效率 · 暗电流 · 响应度
光电器件试验仿真相关性验证实…
17
先进工艺节点器件验证
目标=FinFET · GAA · 应变工程
先进工艺节点器件…FinFET
18
宽禁带半导体器件验证
目标=SiC · GaN器件的材料参数 · 界面陷阱
宽禁带半导体器件…SiC
19
温度与自热效应相关性验证
目标=温度相关测量 · 热阻提取 · 电热耦合仿真与温升实验的对标方法
温度自热效应相关性验…
20
高频与开关瞬态相关性验证
目标=S参数 · 截止频率 · 开关波形
高频开关瞬态相关性验…
21
可靠性试验与仿真相关性验证
目标=NBTI · HCI · TDDB
可靠性试验仿真相关性验证
22
工艺波动与统计变异性验证
目标=随机掺杂 · 线边缘粗糙度 · 工艺角
工艺波动统计变异性验证
23
失效分析与仿真复现
目标=失效定位 · 缺陷建模 · 异常IV曲线复现
失效分析仿真复现
24
多物理场耦合验证
目标=电-热-力耦合 · 光学-电学耦合 · 磁-电耦合的试验设计与仿真对标策略
多物理场耦合验证目标=电
25
自动化验证平台与脚本开发
目标=Sentaurus与Pytho… · 批量仿真 · 数据自动提取
自动化验证平台脚本开发
26
机器学习辅助参数提取与模型校准
目标=代理模型 · 贝叶斯优化 · 神经网络加速校准与不确定性传播
机器学习辅助参数…模型校准
27
验证报告与工程文档规范
目标=数据可视化 · 对标图表 · 误差表
验证报告工程文档规范
28
项目实战一
目标=某功率MOSFET从试验设计到…
项目实战一MOSFET
29
项目实战二
目标=某先进逻辑器件工艺波动与可靠性…
项目实战二目标=某先进逻辑…
30
课程总结与工程能力提升
目标=知识体系回顾 · 常见陷阱 · 最佳实践
课程总结工程能力提升