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Sentaurus模型校准与实验数据拟合

共计 30 章节
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01
课程导入与校准问题定义
目标=Sentaurus TCAD仿… · 模型校准在器件开发中的位置 · 实验数据拟合的目标与评价指标
课程导入校准问题定义
02
Sentaurus工具链与数据接口
目标=Sentaurus Workb… · Structure Editor · Device Editor
Sentaurus工具链
03
半导体物理模型体系概览
目标=漂移扩散模型 · 热力学模型 · 流体动力学模型
半导体物理模型体…目标=漂移扩散模…
04
实验数据采集与预处理
目标=I-V/C-V/脉冲/瞬态/噪… · 数据清洗 · 平滑
实验数据采集预处理
05
校准参数识别与敏感性分析
目标=关键模型参数筛选 · 局部与全局敏感性分析方法 · 参数相关性分析
校准参数识别敏感性分析
06
校准目标函数与优化算法
目标=最小二乘 · 加权最小二乘 · 最大似然估计
校准目标函数优化算法
07
Sentaurus中参数化仿真与自动校准流程
目标=参数扫描 · 优化循环 · Sentaurus Workbenc…
Sentaurus参数化仿真
08
迁移率模型校准
目标=掺杂浓度 · 温度 · 横向电场依赖迁移率模型
迁移率模型校准目标=掺杂浓度
09
复合模型校准
目标=SRH复合 · Auger复合 · 辐射复合
复合模型校准SRH
10
能带结构与量子修正模型校准
目标=能带窄化 · 量子势修正 · 密度梯度模型
能带结构量子修正模型校准
11
隧穿模型校准
目标=直接隧穿 · FN隧穿 · TAT
隧穿模型校准目标=直接隧穿
12
热力学与自热效应模型校准
目标=晶格热传导 · 热阻 · 温度依赖模型
热力学自热效应模型校准
13
MOSFET器件模型校准实战
目标=阈值电压 · 亚阈值摆幅 · 迁移率退化
MOSFET器件模型校准实战
14
FinFET与纳米片器件模型校准
目标=三维结构效应 · 量子限制 · 寄生电阻电容
FinFET纳米片器件模型校…
15
BJT/HBT器件模型校准
目标=电流增益 · Early效应 · 渡越时间
BJT/HBT器件模型校准
16
功率器件模型校准
目标=IGBT · MOSFET · 二极管
功率器件模型校准IGBT
17
光电器件模型校准
目标=LED · 激光器 · 光电探测器
光电器件模型校准LED
18
存储器器件模型校准
目标=Flash · DRAM · RRAM
存储器器件模型校…Flash
19
传感器与MEMS器件模型校准
目标=压阻 · 电容 · 热敏
MEMS传感器
20
工艺模型校准
目标=注入 · 扩散 · 氧化
工艺模型校准目标=注入
21
统计与变异性模型校准
目标=随机掺杂波动 · 线边缘粗糙度 · 工艺角
统计变异性模型校准
22
多目标与多物理场联合校准
目标=电-热-力-光耦合 · 多目标优化 · Pareto前沿
多目标多物理场联合校准
23
校准结果验证与不确定性量化
目标=交叉验证 · 残差分析 · 置信区间
校准结果验证不确定性量化
24
校准数据库与模型版本管理
目标=参数集管理 · 版本控制 · 可追溯性
校准数据库模型版本管理
25
机器学习辅助校准
目标=代理模型 · 神经网络 · 高斯过程
机器学习辅助校准目标=代理模型
26
Sentaurus与Python/Matlab联合校准实战
目标=TCAD自动化 · 数据交换 · 优化框架搭建
SentaurusPython/Matla…
27
先进节点器件校准案例
目标=GAA · CFET · 二维材料器件
先进节点器件校准…GAA
28
射频与毫米波器件模型校准
目标=S参数 · 小信号/大信号模型 · 噪声模型
射频毫米波器件模型校…
29
可靠性模型校准
目标=NBTI · HCI · TDDB
可靠性模型校准NBTI
30
课程总结与项目实战
目标=完整校准项目流程 · 报告撰写 · 结果展示
课程总结项目实战