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018-半导体设备精密运动与平台控制

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6门 系列课程
芯片硬件与光电工程 所属方向
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01
《半导体设备运动控制与整定》
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02
《半导体设备龙门双驱控制》
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03
《晶圆台超精密运动系统工程》
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04
《曝光机工件台直线电机控制》
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05
《超精密平台运动控制算法》
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06
《超精密运动平台机电设计》
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