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曝光机工件台直线电机控制精讲

共计 30 章节
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01
课程导入
曝光机工件台的作用 · 直线电机控制的重要性 · 课程目标与学习路径
课程导入曝光机工件台的作…
02
直线电机基础
直线电机的工作原理 · 分类（永磁 · 感应
直线电机基础直线电机的工作原…
03
曝光机工件台系统架构
工件台机械结构 · 直线电机布局 · 光栅尺/编码器反馈
曝光机工件台系统…工件台机械结构
04
直线电机关键参数
推力常数 · 反电动势常数 · 电感电阻
直线电机关键参数推力常数
05
光栅尺与编码器
分辨率 · 精度 · 信号类型（增量/）
光栅尺编码器
06
直线电机驱动器
驱动器拓扑（PWM · H桥） · 电流环
直线电机驱动器PWM
07
电流环控制
FOC（磁场定向控制）原理 · Clark/Park变换 · PI参数整定
电流环控制FOC
08
速度环控制
速度反馈处理 · PI控制器设计 · 前馈补偿
速度环控制速度反馈处理
09
位置环控制
位置环增益 · P/PI控制 · 轨迹规划（梯形/S曲线）
位置环控制位置环增益
10
PID参数整定方法
Ziegler-Nichols · 极点配置 · 仿真调参
PID参数整定方法
11
前馈控制
加速度前馈 · 速度前馈 · 摩擦前馈
前馈控制加速度前馈
12
扰动抑制
负载扰动 · 摩擦力 · 齿槽力
扰动抑制负载扰动
13
系统建模与辨识
机械传递函数 · 电气模型 · 频率响应测试
系统建模辨识
14
仿真实践
使用MATLAB/Simulink搭… · 进行电流环 · 速度环
仿真实践MATLAB/Simul…
15
运动轨迹规划
点位运动 · 连续运动 · 加减速算法
运动轨迹规划点位运动
16
同步控制
双直线电机同步驱动 · 龙门结构 · 同步误差消除
同步控制双直线电机同步驱…
17
高精度定位技术
宏微结合 · 压电微动台 · 光栅尺细分
高精度定位技术宏微结合
18
抗干扰与电磁兼容
接地 · 屏蔽 · 滤波
抗干扰电磁兼容
19
热管理与冷却
直线电机发热机理 · 冷却方式（水冷/风冷） · 热变形补偿
热管理冷却
20
安全保护与故障诊断
限位 · 急停 · 过流过温保护
安全保护故障诊断
21
案例实战
典型曝光机工件台直线电机控制系统的搭…
案例实战典型曝光机工件台…
22
案例实战
基于实际光栅尺的直线电机位置环调试与…
案例实战基于实际光栅尺的…
23
案例实战
双直线电机同步运动控制实现与误差校正
案例实战双直线电机同步运…
24
案例实战
高速步进扫描运动中的轨迹跟踪与动态性…
案例实战高速步进扫描运动
25
案例实战
直线电机控制系统的EMC整改与现场问…
案例实战EMC
26
常见问题
电机振动 · 噪声 · 爬行
常见问题电机振动
27
常见问题
定位精度不足 · 重复精度差 · 跟随误差大等精度问题的分析与优化
常见问题定位精度不足
28
综合提升
直线电机控制与先进控制算法（滑模 · 自适应 · 鲁棒控制）的结合
综合提升直线电机控制
29
综合提升
工业总线（EtherCAT · PROFINET）在直线电机控制中的…
综合提升EtherCAT
30
课程总结与项目实战
综合项目——设计并调试一个曝光机工件… · 完成性能测试与报告
课程总结项目实战