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本课程属于：018-半导体设备精密运动与平台控制 芯片硬件与光电工程 · 共 6 门相关课程，组合学习更完整。
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半导体设备运动控制参数整定实战

共计 30 章节
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01
课程导入
学习目标 · 课程结构 · 半导体设备运动控制概述与参数整定的重…
课程导入学习目标
02
运动控制基础
伺服电机 · 步进电机 · 直线电机
运动控制基础伺服电机
03
半导体设备典型运动机构
晶圆传输机械手 · 精密平台 · 扫描台
半导体设备典型运…晶圆传输机械手
04
运动控制系统架构
控制器 · 驱动器 · 编码器
运动控制系统架构控制器
05
控制环路基础
位置环 · 速度环 · 电流环（三环）的结构
控制环路基础位置环
06
PID控制原理
比例 · 积分 · 微分的作用
PID控制原理
07
参数整定前的准备
机械系统辨识 · 惯量比测量 · 摩擦补偿
参数整定前的准备机械系统辨识
08
频域分析基础
伯德图 · 幅值裕度 · 相位裕度
频域分析基础伯德图
09
时域响应指标
超调量 · 上升时间 · 稳定时间
时域响应指标超调量
10
手动整定方法
基于阶跃响应的Ziegler-Nic… · 临界比例度法在运动控制中的应用
手动整定方法Ziegler-Nic
11
自动整定方法
自整定 · 模型参考自适应 · 扰动观测器在半导体设备中的实用技巧
自动整定方法自整定
12
速度环整定实战
速度环增益 · 积分时间常数 · 滤波器的调整步骤与案例
速度环整定实战速度环增益
13
位置环整定实战
位置环增益 · 前馈系数 · 平滑滤波的整定流程与案例
位置环整定实战位置环增益
14
电流环整定实战
电流环带宽 · PI参数 · 死区补偿在直线电机驱动中的调优
电流环整定实战电流环带宽
15
前馈控制
速度前馈 · 加速度前馈 · jerk前馈的原理与参数设置
前馈控制速度前馈
16
陷波滤波器应用
机械共振频率识别 · 陷波滤波器设计 · 参数调整与验证
陷波滤波器应用机械共振频率识别
17
低通滤波器与平滑
滤波器类型选择 · 截止频率设定 · 对跟随精度的影响
低通滤波器平滑
18
摩擦补偿与扰动抑制
库仑摩擦 · 粘滞摩擦 · Stribeck曲线补偿
摩擦补偿扰动抑制
19
多轴协调运动控制
龙门双驱 · H型结构 · 同步运动中的参数匹配与耦合补偿
多轴协调运动控制龙门双驱
20
晶圆传输机械手整定案例
从机械分析到参数整定的完整实战流程
晶圆传输机械手整…从机械分析到参数…
21
精密扫描台整定案例
高加速度 · 高精度场景下的参数优化与振动抑制
精密扫描台整定案…高加速度
22
划片机/切割机运动控制整定
快速定位与路径精度兼顾的调参策略
划片机切割机运动控制整…
23
键合机/贴片机运动控制整定
高频往复运动中的参数稳定性与热漂移处…
键合机贴片机运动控制整…
24
参数整定中的常见问题
振荡 · 过冲 · 爬行
参数整定常见问题
25
整定工具与软件
使用示波器 · 频谱分析仪 · 运动控制软件（如ACS
整定工具软件
26
参数整定流程标准化
从需求分析 · 建模 · 仿真到现场调试的规范化步骤
参数整定流程标准…从需求分析
27
仿真与建模辅助整定
利用MATLAB/Simulink或… · 进行参数预整定
仿真建模辅助整定
28
综合实战项目
针对典型半导体设备（如晶圆搬运机器人…
综合实战项目针对典型半导体设…
29
性能验证与优化
重复定位精度 · 轨迹误差 · 动态响应等指标的测试方法与持续改进
性能验证优化
30
课程总结与进阶方向
知识体系回顾 · 常见误区 · 行业前沿技术（如学习控制
课程总结进阶方向