VIP6
本课程属于：018-半导体设备精密运动与平台控制 芯片硬件与光电工程 · 共 6 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

超精密运动控制算法实战解析

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
课程导入
学习目标 · 课程结构 · 超精密运动控制在半导体制造
课程导入学习目标
02
超精密运动控制基础
精密运动平台组成（直线电机 · 压电陶瓷 · 气浮导轨等）
超精密运动控制基…精密运动平台组成
03
运动控制数学基础
拉普拉斯变换 · 传递函数 · 状态空间模型
运动控制数学基础拉普拉斯变换
04
系统辨识与建模
频率响应测试 · 最小二乘辨识 · 参数拟合方法
系统辨识建模
05
PID控制进阶
PID参数整定方法（Ziegler-… · 极点配置 · 优化算法）
PID控制进阶
06
前馈控制技术
速度前馈 · 加速度前馈 · jerk前馈的原理与实现
前馈控制技术速度前馈
07
零相位误差跟踪控制（ZPETC）
ZPETC算法原理 · 设计步骤 · 在精密轨迹跟踪中的实战应用与局限性分…
ZPETC零相位误差跟踪控…
08
鲁棒控制基础
H∞控制 · μ综合的基本概念 · 以及如何设计对模型不确定性和外部扰动…
鲁棒控制基础H∞控制
09
滑模控制（SMC）
滑模面设计 · 趋近律选择 · 抖振抑制方法
SMC滑模控制
10
自适应控制
模型参考自适应控制（MRAC） · 自校正控制原理 · 以及在线参数调整在精密运动系统中的应…
自适应控制MRAC
11
迭代学习控制（ILC）
ILC基本原理 · P型/PD型学习律 · 收敛性分析
ILC迭代学习控制
12
重复控制（Repetitive Control）
重复控制器的设计 · 稳定性条件 · 与ILC的对比
RepetitiveControl
13
扰动观测器（DOB）
DOB结构 · Q滤波器设计 · 带宽选择
DOB扰动观测器
14
模型预测控制（MPC）
MPC基本原理 · 约束处理 · 在线优化算法
MPC模型预测控制
15
非线性控制策略
摩擦补偿（Stribeck模型 · LuGre模型） · 迟滞补偿（Prandtl-Ishli…
非线性控制策略Stribeck
16
多轴协调控制
交叉耦合控制（CCC） · 同步误差控制 · 主从控制
多轴协调控制CCC
17
振动抑制与结构谐振控制
陷波滤波器设计 · 主动阻尼 · 输入整形（Input Shaping…
振动抑制结构谐振控制
18
数字信号处理与滤波
低通/高通/带通滤波器设计 · 陷波滤波器 · 卡尔曼滤波在位置/速度估计中的应用
数字信号处理滤波
19
运动控制硬件与实时系统
DSP/FPGA/微控制器选型 · 实时操作系统（RTOS） · EtherCAT等总线通信
运动控制硬件实时系统
20
轨迹规划与插补
S曲线加减速 · B样条插补 · NURBS插补
轨迹规划插补
21
误差补偿技术
几何误差补偿 · 热误差补偿 · 力误差补偿
误差补偿技术几何误差补偿
22
案例实战一
直线电机平台的高精度定位控制——从系… · 控制器设计到实验调试的完整流程
案例实战一直线电机平台的高…
23
案例实战二
压电陶瓷纳米定位台的迟滞补偿与振动控…
案例实战二压电陶瓷纳米定位…
24
案例实战三
光刻机工件台的高速高精度运动控制——… · 超精密测量与控制的集成
案例实战三光刻机工件台的高…
25
案例实战四
原子力显微镜（AFM）扫描控制——扫… · 反馈控制与图像伪影消除
案例实战四AFM
26
常见问题与调试技巧
控制发散 · 极限环 · 噪声放大
常见问题调试技巧
27
性能评估与测试方法
阶跃响应 · 频率响应 · 跟踪误差
性能评估测试方法
28
前沿算法与趋势
深度学习在运动控制中的应用 · 数据驱动控制 · 鲁棒与自适应融合
前沿算法趋势
29
综合项目实战
设计一个超精密运动控制系统 · 涵盖需求分析 · 建模
综合项目实战设计一个超精密运…
30
课程总结与进阶路径
核心知识点回顾 · 常见误区梳理 · 推荐书籍//工具
课程总结进阶路径