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半导体设备龙门双驱控制精讲

共计 30 章节
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01
课程导入
学习目标 · 课程结构 · 龙门双驱在半导体设备中的典型应用（如…
课程导入学习目标
02
龙门双驱系统概述
定义 · 结构组成（双直线电机 · 双伺服驱动
龙门双驱系统概述定义
03
运动控制基础
位置环 · 速度环 · 电流环三环控制原理
运动控制基础位置环
04
双驱同步控制核心概念
同步误差 · 跟随误差 · 主从控制（Master-Slave）…
双驱同步控制核心…同步误差
05
龙门双驱机械动力学建模
刚体模型 · 柔性变形（扭转 · 弯曲）对控制的影响
龙门双驱机械动力…刚体模型
06
双驱控制架构设计
分布式控制与集中式控制 · 同步控制器的位置（独立轴控制器+同步… · 以及通信总线（EtherCAT
双驱控制架构设计分布式控制
07
同步误差补偿方法
交叉耦合控制（Cross-Coupl… · CCC） · 自适应同步补偿
同步误差补偿方法Cross-Coupl
08
前馈与解耦控制
动态解耦（轴间耦合补偿） · 摩擦补偿 · 重力补偿
前馈解耦控制
09
伺服驱动参数整定
电流环 · 速度环 · 位置环的带宽设计
伺服驱动参数整定电流环
10
光栅尺与编码器反馈
分辨率 · 精度 · 安装误差（阿贝误差
光栅尺编码器反馈
11
龙门双驱的电子齿轮与电子凸轮
电子齿轮比设定 · 同步运动规划（梯形 · S型
龙门双驱的电子齿…电子凸轮
12
振动抑制与机械谐振
陷波滤波器（Notch Filter… · 低通滤波 · 加速度反馈
振动抑制机械谐振
13
抗扰动与鲁棒控制
扰动观测器（DOB） · 滑模控制 · H∞控制
抗扰动鲁棒控制
14
龙门双驱的标定与校准
机械对中 · 零位标定 · 激光干涉仪测量
龙门双驱的标定校准
15
典型半导体工艺运动控制案例
晶圆搬运（Wafer Handlin…
典型半导体工艺运…Wafer
16
典型半导体设备案例
光刻机工件台（Stage）的龙门双驱… · 包括步进扫描（Step-and-Sc…
典型半导体设备案…Stage
17
典型半导体设备案例
晶圆切割机（Dicing Saw）的… · 以及切割道对准
典型半导体设备案…Dicing
18
龙门双驱控制软件实现
基于PLC或运动控制卡（如ACS · Aerotech · Delta Tau）的编程
龙门双驱控制软件…PLC
19
龙门双驱的调试流程
上电检查 · 单轴调试 · 双轴同步调试
龙门双驱的调试流…上电检查
20
龙门双驱的性能评估指标
定位精度 · 重复精度 · 同步误差（最大
龙门双驱的性能评…定位精度
21
常见问题与故障诊断
同步误差超差 · 机械振动 · 电机过热
常见问题故障诊断
22
龙门双驱的先进控制策略
模型预测控制（MPC） · 迭代学习控制（ILC）在重复运动中的…
龙门双驱的先进控…MPC
23
龙门双驱的力控制与力矩分配
双驱轴推力分配 · 偏摆力矩补偿 · 以及基于力传感器的接触力控制（如晶圆…
龙门双驱的力控制力矩分配
24
龙门双驱的仿真与建模工具
MATLAB/Simulink · Adams联合仿真 · 以及基于仿真进行控制参数预整定和验证
龙门双驱的仿真建模工具
25
龙门双驱的电气设计要点
驱动器选型 · 母线电容 · 再生电阻
龙门双驱的电气设…驱动器选型
26
龙门双驱的安全与保护机制
软限位 · 硬限位 · 急停
龙门双驱的安全保护机制
27
龙门双驱的维护与保养
光栅尺清洁 · 导轨润滑 · 电机温度监控
龙门双驱的维护保养
28
综合实战项目
设计一个半导体晶圆搬运龙门双驱系统 · 从需求分析 · 机械选型
综合实战项目设计一个半导体晶…
29
综合提升
龙门双驱控制中的前沿技术（如智能控制 · 数字孪生 · 工业互联网）以及未来发展趋势（更高精…
综合提升龙门双驱控制
30
课程总结与考核
核心知识点回顾 · 常见误区梳理 · 综合测试题（理论+实操）以及学员项目…
课程总结考核