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真空镀膜系统泄漏检测与维护：薄膜沉积技术要点

共计 30 章节
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01
真空镀膜概述
真空镀膜的基本原理 · 应用领域（光学 · 电子
真空镀膜概述真空镀膜的基本原…
02
真空系统基础
真空区域的划分（低真空 · 高真空 · 超高真空）
真空系统基础真空区域的划分
03
真空测量技术
真空计的种类（热偶计 · 电离计 · 电容薄膜规）
真空测量技术真空计的种类
04
镀膜系统结构
真空室 · 基片架 · 蒸发源/溅射靶
镀膜系统结构真空室
05
薄膜沉积工艺参数
沉积速率 · 基片温度 · 工作气压
薄膜沉积工艺参数沉积速率
06
泄漏检测基础
泄漏的定义 · 泄漏率单位（Pa·m³/s · mbar·L/s）
泄漏检测基础泄漏的定义
07
泄漏源分类
静密封泄漏（O圈 · 法兰） · 动密封泄漏（旋转轴
泄漏源分类静密封泄漏
08
氦质谱检漏法
氦质谱检漏仪的工作原理 · 吸枪法与喷氦法 · 检漏灵敏度与响应时间
氦质谱检漏法氦质谱检漏仪的工…
09
压力上升法
静态升压法 · 动态升压法 · 如何通过压力曲线判断泄漏与放气
压力上升法静态升压法
10
丙酮/酒精检漏法
适用于粗真空系统的简易检漏方法 · 操作步骤与安全注意事项
丙酮酒精检漏法
11
残余气体分析（RGA）
四极质谱仪原理 · RGA在泄漏定位与污染分析中的应用
RGA残余气体分析
12
泄漏定位技巧
分段隔离法 · 包覆法 · 累积法在复杂系统中的实际应用
泄漏定位技巧分段隔离法
13
密封件维护
O型密封圈的材质选择（Viton · 硅胶 · EPDM）
密封件维护Viton
14
法兰与接口维护
CF法兰 · KF法兰 · ISO法兰的清洁与装配
法兰接口维护
15
阀门维护
闸板阀 · 角阀 · 微调阀的常见故障（密封不严
阀门维护闸板阀
16
真空泵维护
机械泵换油与清洗 · 分子泵轴承更换与动平衡 · 扩散泵油的老化与更换
真空泵维护机械泵换油
17
真空计维护
热偶计灯丝老化 · 电离计污染与清洗 · 规管校准与更换
真空计维护热偶计灯丝老化
18
基片清洗与处理
超声波清洗 · 等离子体清洗 · 烘烤除气对薄膜附着力的影响
基片清洗处理
19
靶材与蒸发源维护
溅射靶材的更换与绑定 · 蒸发舟/坩埚的清洁与更换 · 防止飞溅
靶材蒸发源维护
20
系统烘烤除气
烘烤温度与时间的选择 · 烘烤对真空度恢复的加速作用 · 冷却规范
系统烘烤除气烘烤温度
21
薄膜厚度监控
石英晶体振荡法（QCM）原理 · 晶片更换与校准 · 光学监控法简介
薄膜厚度监控QCM
22
薄膜均匀性控制
基片旋转 · 挡板形状 · 蒸发源/靶材布局对均匀性的影响
薄膜均匀性控制基片旋转
23
常见薄膜缺陷分析
针孔 · 起皮 · 应力开裂
常见薄膜缺陷分析针孔
24
泄漏检测标准与规范
ISO 21358 · ASTM E499/E498标准解读 · 验收泄漏率设定
泄漏检测标准规范
25
维护计划制定
日常点检 · 周维护 · 月维护
维护计划制定日常点检
26
安全操作规范
高压电气安全 · 有毒气体（如H2S）防护 · 氦气使用安全
安全操作规范高压电气安全
27
故障诊断案例1
真空度抽不下去——泄漏与放气的区分诊…
故障诊断案例1真空度抽不下去
28
故障诊断案例2
镀膜颜色异常——工艺参数漂移与系统污…
故障诊断案例2镀膜颜色异常
29
故障诊断案例3
分子泵异响与停机——轴承磨损与叶片损…
故障诊断案例3分子泵异响
30
课程总结与未来趋势
智能检漏系统 · 远程监控与预测性维护 · 新型密封材料发展
课程总结未来趋势