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011-半导体工艺设备与故障诊断

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5门 系列课程
芯片硬件与光电工程 所属方向
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01
《半导体工艺设备真空系统架构与压力控制环路实战》
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02
《半导体真空系统调试与故障诊断》
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03
《半导体设备PM、状态监测与预防性维护工程》
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04
《半导体设备电气柜热成像检测与异常诊断、恢复与验证》
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05
《真空镀膜设备泄漏检测与维护》
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