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本课程属于：011-半导体工艺设备与故障诊断 芯片硬件与光电工程 · 共 5 门相关课程，组合学习更完整。
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半导体工艺设备真空系统架构与压力控制环路实战

共计 30 章节
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01
课程导入
目标=半导体工艺设备真空系统的学习目… · 核心概念 · 整体架构与实战意义
课程导入目标=半导体工艺…
02
真空基础
目标=真空定义 · 单位 · 真空度分级
真空基础目标=真空定义
03
真空系统架构总览
目标=从晶圆传输腔 · 工艺腔到负载锁的真空分区 · 典型架构与设计原则
真空系统架构总览目标=从晶圆传输…
04
真空泵类型与选型
目标=干泵 · 分子泵 · 离子泵
真空泵类型选型
05
真空阀门与管道
目标=角阀 · 闸阀 · 蝶阀
真空阀门管道
06
真空测量与传感器
目标=皮拉尼 · 电容薄膜 · 冷阴极
真空测量传感器
07
压力控制环路基础
目标=闭环控制概念 · 设定值 · 反馈
压力控制环路基础目标=闭环控制概…
08
压力控制执行机构
目标=节流阀 · 摆阀 · 蝶阀在压力控制中的动态特性与驱动方式
压力控制执行机构目标=节流阀
09
抽气与充气动态过程
目标=抽速 · 负载气体 · 放气率
抽气充气动态过程
10
典型压力控制模式
目标=上游控制 · 下游控制 · 抽速控制与分压控制的实现与对比
典型压力控制模式目标=上游控制
11
真空系统启动与关机流程
目标=抽真空 · 检漏 · 烘烤
真空系统启动关机流程
12
检漏与残余气体分析
目标=氦检漏 · RGA 原理 · 谱图解读与常见污染源定位
检漏残余气体分析
13
工艺腔压力控制实战
目标=CVD · PVD · 刻蚀
工艺腔压力控制实…CVD
14
负载锁与传输腔压力控制
目标=大气到真空的快速循环 · 压力斜率控制与颗粒控制
负载锁传输腔压力控制
15
PID 参数整定实战
目标=基于阶跃响应 · 临界比例度法 · Ziegler-Nichols 与现…
PID参数整定实战
16
前馈与串级控制
目标=在压力控制环路中引入前馈补偿 · 串级控制与自适应控制策略
前馈串级控制
17
阀门与泵的协同控制
目标=抽速调节 · 阀门开度与泵转速的协调优化与节能策略
阀门泵的协同控制
18
压力控制中的噪声与干扰
目标=振动 · 温度漂移 · 电磁干扰
压力控制噪声
19
系统建模与仿真
目标=真空系统等效电路 · 状态空间模型 · Simulink 仿真与控制器验证
系统建模仿真
20
故障诊断与排除
目标=压力不稳 · 抽速下降 · 漏气
故障诊断排除
21
维护与校准
目标=泵维护 · 阀门保养 · 传感器校准周期
维护校准
22
安全与规范
目标=真空系统安全操作 · 高压 · 低温
安全规范
23
先进控制算法
目标=模糊控制 · 神经网络 · 模型预测控制在真空压力控制中的应用探…
先进控制算法目标=模糊控制
24
数据采集与监控
目标=SCADA · PLC · 工业物联网在真空系统监控与数据分析中…
数据采集监控
25
能效与成本优化
目标=泵功耗 · 气体消耗 · 维护成本的优化方法与实际收益评估
能效成本优化
26
案例研究一
目标=某刻蚀设备真空系统压力控制改造…
案例研究一目标=某刻蚀设备…
27
案例研究二
目标=某 CVD 设备负载锁压力循环…
案例研究二CVD
28
案例研究三
目标=某 PVD 设备分子泵与节流阀…
案例研究三PVD
29
综合实战项目
目标=设计一个半导体工艺设备的真空系… · 包含选型 · 建模
综合实战项目目标=设计一个半…
30
课程总结与提升
目标=知识体系回顾 · 常见误区 · 进阶学习路径与行业趋势展望
课程总结提升