2. 真空系统基础
真空镀膜系统的核心在于“真空”。真空度的高低直接决定了薄膜的纯度、附着力与微观结构。本章将系统讲解真空区域的划分标准、各类真空泵的工作原理与选型依据，为后续的泄漏检测与维护打下理论基础。
2.1 真空区域的划分
真空区域通常按气体压强（单位：Pa 或 Torr）划分。不同区域对应不同的物理现象与工艺需求。下表列出了工业与科研中通用的划分标准：
| 真空区域 | 压强范围 (Pa) | 压强范围 (Torr) | 典型特征 | 镀膜应用 |
|---|---|---|---|---|
| 低真空 | 10⁵ ~ 10² | 760 ~ 1 | 粘滞流为主，气体分子碰撞频繁 | 预抽、粗抽、等离子清洗 |
| 中真空 | 10² ~ 10⁻¹ | 1 ~ 10⁻³ | 过渡流，分子平均自由程接近容器尺寸 | 溅射镀膜、蒸发镀膜前级 |
| 高真空 | 10⁻¹ ~ 10⁻⁵ | 10⁻³ ~ 10⁻⁷ | 分子流为主，气体分子与器壁碰撞占主导 | 蒸发镀膜、磁控溅射、离子镀 |
| 超高真空 | < 10⁻⁵ | < 10⁻⁷ | 分子流，表面吸附与解吸主导，残余气体极少 | 分子束外延、超高真空扫描隧道显微镜 |
记忆口诀：“低粘中过高分超”——低真空粘滞流，中真空过渡流，高真空分子流，超高真空表面效应主导。
下图直观展示了真空区域的划分与对应的气体流动状态：
2.2 真空泵的种类与工作原理
真空泵是实现真空环境的核心设备。根据工作压强范围与原理，镀膜系统中最常用的三类泵为：机械泵、扩散泵和分子泵。下表对比了它们的关键参数：
| 泵类型 | 工作压强范围 (Pa) | 极限真空 (Pa) | 工作原理 | 主要优点 | 主要缺点 |
|---|---|---|---|---|---|
| 机械泵 | 10⁵ ~ 10⁻¹ | ~ 10⁻¹ | 容积压缩，气体被吸入、压缩、排出 | 结构简单、成本低、可直排大气 | 极限真空低、有油污染（油封泵） |
| 扩散泵 | 10⁻¹ ~ 10⁻⁶ | ~ 10⁻⁶ | 高速油蒸汽射流携带气体分子向下运动 | 抽速大、无运动部件、成本适中 | 需前级泵、有返油风险、需冷阱 |
| 分子泵 | 10⁻¹ ~ 10⁻⁸ | ~ 10⁻⁸ | 高速旋转叶片撞击气体分子定向传输 | 清洁无油、极限真空高、启动快 | 成本高、对颗粒敏感、需前级泵 |
2.2.1 机械泵（旋片泵）
机械泵是最常用的前级泵，负责从大气压抽到中真空。其核心结构包括：定子、转子、旋片和排气阀。工作过程分为吸气、压缩、排气三个阶段。
维护要点：机械泵需定期更换泵油、检查排气阀片和旋片磨损。油位过低或乳化会导致极限真空下降。
2.2.2 扩散泵
扩散泵是一种高真空泵，利用高速油蒸汽射流将气体分子“推”向泵口下方，再由前级泵排出。其结构包括：泵体、加热器、喷嘴组和冷却管。
注意：扩散泵必须在前级真空达到 10 Pa 以下才能启动加热，否则泵油会氧化变质。停机后需保持冷却水循环 30 分钟以上，防止泵油返流污染真空室。
2.2.3 分子泵
分子泵是目前镀膜系统中最主流的高真空/超高真空泵。它依靠高速旋转的涡轮叶片（转速可达 30,000 ~ 90,000 rpm）对气体分子施加定向动量，实现抽气。分子泵具有清洁、无油、启动快等优点。
选型建议：分子泵的抽速应与真空室容积匹配。对于镀膜系统，通常选择抽速为 300~1200 L/s 的分子泵。注意分子泵不能直排大气，必须配置前级机械泵。
2.3 真空泵组配置示例
一个典型的镀膜系统真空泵组采用“前级泵 + 主泵”的串联配置。以下是一个常见的配置流程：
- 粗抽阶段：机械泵单独工作，将真空室从大气压抽至 1~10 Pa。
- 前级维持：机械泵继续作为前级泵，为分子泵提供出口压强（通常 < 10 Pa）。
- 主泵启动：分子泵启动并加速至额定转速，真空室进入高真空状态（10⁻³ ~ 10⁻⁵ Pa）。
- 超高真空（可选）：如需超高真空，可增加离子泵或钛升华泵辅助抽气。
经验数据：对于 0.5 m³ 的镀膜室，使用 600 L/s 分子泵 + 30 m³/h 机械泵，从大气抽至 5×10⁻⁴ Pa 约需 15~25 分钟（取决于系统泄漏率）。
下表总结了三种泵在镀膜系统中的典型组合方式：
| 组合类型 | 前级泵 | 主泵 | 极限真空 (Pa) | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| 经济型 | 机械泵 | 扩散泵 | ~ 10⁻⁴ | 普通蒸发镀膜、实验室 |
| 标准型 | 机械泵 | 分子泵 | ~ 10⁻⁵ | 磁控溅射、离子镀、光学镀膜 |
| 高性能型 | 干泵 + 机械泵 | 分子泵 + 离子泵 | ~ 10⁻⁷ | 超高真空薄膜、分子束外延 |