VIP5
本课程属于：011-半导体工艺设备与故障诊断 芯片硬件与光电工程 · 共 5 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

真空泵系统调试中常见故障排查与参数整定指南

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
真空泵系统概述
真空泵分类（旋片泵 · 罗茨泵 · 螺杆泵
真空泵系统概述真空泵分类
02
调试前准备
工具清单（万用表 · 真空计 · 扳手
调试前准备工具清单
03
初次启动流程
点动测试电机转向 · 检查润滑油位 · 确认冷却系统循环
初次启动流程点动测试电机转向
04
极限真空度不达标
排查漏气点（法兰 · 密封圈 · 焊缝）
极限真空度不达标排查漏气点
05
泵体异常振动
地脚螺栓松动 · 联轴器对中偏差 · 转子动平衡失效
泵体异常振动地脚螺栓松动
06
电机过载与过热
电源相序错误 · 电压不平衡 · 负载过大（进气压力过高）
电机过载过热
07
真空度波动与爬升慢
管路堵塞（过滤器 · 阀门） · 泵油乳化或不足
真空度波动爬升慢
08
异常噪音诊断
气蚀噪音（进气压力过低） · 机械摩擦噪音（轴承磨损 · 叶片卡滞）
异常噪音诊断气蚀噪音
09
油路系统故障
油泵不供油 · 油路堵塞 · 油温过高（冷却不足）
油路系统故障油泵不供油
10
气镇阀与吹扫系统
气镇阀作用原理 · 气镇阀开度对极限真空的影响 · 吹扫气体流量整定
气镇阀吹扫系统
11
罗茨泵与旋片泵组合调试
罗茨泵启动压差设定 · 旁通阀与溢流阀整定 · 级间冷却与密封
罗茨泵旋片泵组合调试
12
螺杆泵调试要点
螺杆间隙调整 · 同步齿轮啮合检查 · 排气温度控制
螺杆泵调试要点螺杆间隙调整
13
分子泵与高真空系统
分子泵启动频率与加速时间 · 前级泵匹配 · 高真空规校准
分子泵高真空系统
14
真空计选型与校准
热偶规 · 电离规 · 电容薄膜规原理
真空计选型校准
15
阀门与管路调试
气动/电动阀门动作时序 · 阀门泄漏测试 · 管路流导计算与优化
阀门管路调试
16
控制系统与PLC调试
I/O点检查 · 模拟量信号（压力 · 温度）标定
PLC控制系统
17
安全联锁与报警
低真空保护 · 电机过载保护 · 冷却水流量开关
安全联锁报警
18
泄漏检测方法
氦质谱检漏仪使用 · 吸枪法 · 喷氦法
泄漏检测方法氦质谱检漏仪使用
19
参数整定基础
PID控制原理（P/I/D作用） · 临界比例度法 · 衰减曲线法
参数整定基础PID
20
压力控制回路整定
设定点 · 比例带 · 积分时间
压力控制回路整定设定点
21
温度控制回路整定
加热器功率 · 冷却水阀开度 · 温度传感器滞后补偿
温度控制回路整定加热器功率
22
流量控制回路整定
质量流量控制器（MFC）校准 · 气体比例阀线性化 · 前馈补偿
流量控制回路整定MFC
23
多泵站联控逻辑
主泵与辅泵切换逻辑 · 故障自动切换 · 负载均衡策略
多泵站联控逻辑主泵
24
数据记录与趋势分析
历史数据采集 · 趋势图绘制 · 异常模式识别（如周期性波动）
数据记录趋势分析
25
常见故障树分析（FTA）
以“极限真空度低”为顶事件 · 构建故障树 · 进行逻辑推理
FTA常见故障树分析
26
故障案例库
旋片泵卡死（异物进入） · 罗茨泵过热（冷却不足） · 分子泵失速（前级压力过高）
故障案例库旋片泵卡死
27
预防性维护计划
油品更换周期 · 滤芯更换 · 轴承润滑
预防性维护计划油品更换周期
28
调试报告撰写
测试数据记录表 · 参数整定记录 · 故障处理记录
调试报告撰写测试数据记录表
29
高级调试技巧
频谱分析用于振动诊断 · 热成像用于温升检测 · 残余气体分析（RGA）
高级调试技巧频谱分析用于振动…
30
综合实战演练
给定一个复杂真空系统（含旋片泵+罗茨… · 模拟调试全过程
综合实战演练给定一个复杂真空…