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本课程属于：026-SPICE器件建模 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。

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BSIM模型参数提取与SPICE器件建模实战

共计 30 章节

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半导体器件建模概述

BSIM模型的历史 · SPICE仿真与模型的关系 · 课程目标与学习路径

半导体器件建模概…BSIM

MOSFET物理基础

阈值电压 · 沟道电流 · 亚阈值区

MOSFET物理基础

BSIM3v3模型核心方程

阈值电压模型 · I-V模型 · C-V模型

BSIM3v3模型核心方程

BSIM4模型新特性

应力效应 · 栅极漏电流 · 源/漏结耗尽

BSIM4模型新特性

BSIM-CMG与FinFET建模

多栅极结构 · 鳍片参数 · 量子效应修正

模型参数分类

几何参数 · 工艺参数 · 电学参数

模型参数分类几何参数

参数提取流程

从测试数据到模型卡 · 提取策略 · 全局与局部优化

参数提取流程从测试数据到模型…

测试结构设计

MOSFET测试键 · 开尔文结构 · 去嵌技术

测试结构设计MOSFET

直流参数提取

阈值电压Vth · 跨导gm · 输出电导gds

直流参数提取Vth

栅氧化层电容Cox · 交叠电容Cov · 结电容Cj

迁移率模型提取

有效迁移率μeff · 迁移率退化因子 · 库仑散射与表面粗糙度散射

迁移率模型提取eff

源漏电阻提取

接触电阻Rc · 薄层电阻Rsh · 沟道电阻Rch

源漏电阻提取Rc

亚阈值特性提取

亚阈值摆幅SS · 漏致势垒降低DIBL · 亚阈值电流模型

亚阈值特性提取SS

沟道长度调制与CLM提取

输出电导修正 · 饱和电压Vdsat · Early电压VA

CLM沟道长度调制

温度效应建模

温度系数提取 · 阈值电压温度漂移 · 迁移率温度依赖性

温度效应建模温度系数提取

噪声模型参数提取

闪烁噪声1/f · 热噪声 · 沟道噪声

噪声模型参数提取闪烁噪声1

射频模型参数提取

S参数 · Y参数转换 · 截止频率fT

射频模型参数提取S参数

统计模型与工艺角

蒙特卡洛分析 · 全局变化 · 局部失配

统计模型工艺角

BSIM模型卡编写

模型语句 · 参数赋值 · 几何缩放规则

BSIM模型卡编写

SPICE网表构建

子电路定义 · 器件实例 · 分析语句

SPICE网表构建

直流仿真与模型验证

DC扫描 · 转移特性 · 输出特性

直流仿真模型验证

交流小信号仿真

AC分析 · 电容特性 · 跨导频率响应

交流小信号仿真AC

瞬态仿真与电路应用

反相器链 · 环形振荡器 · SRAM单元

瞬态仿真电路应用

参数优化算法

Levenberg-Marquard… · 遗传算法 · 粒子群优化

参数优化算法Levenberg-Ma…

自动化提取工具

IC-CAP · MBP · Utmost

自动化提取工具IC-CAP

Python在参数提取中的应用

数据读取 · 曲线拟合 · 优化库SciPy

Python参数提取

模型质量评估

均方根误差RMS · 相对误差 · 拟合优度R²

模型质量评估RMS

先进工艺节点挑战

短沟道效应 · 量子限制 · 栅极隧穿

先进工艺节点挑战短沟道效应

BSIM模型在EDA流程中的集成

PDK开发 · 标准单元库 · LVS/RCX

课程总结与项目实战

从原始测试数据到完整BSIM模型卡 · 完成一个28nm NMOS建模项目

课程总结项目实战