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几何缩放与WPE效应：SPICE建模进阶技术

共计 30 章节
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01
课程导论
几何缩放与WPE效应的背景 · 重要性及在先进工艺节点中的挑战
课程导论WPE
02
MOSFET基础回顾
长沟道与短沟道效应 · 阈值电压与沟道长度的关系
MOSFET基础回顾
03
几何缩放理论
经典等比例缩放定律（Constant…
几何缩放理论Constant
04
短沟道效应（SCE）
DIBL · Vth滚降 · 亚阈值摆幅退化及其物理机制
SCE短沟道效应
05
窄沟道效应（NCE）
场氧化层边缘效应 · 反窄沟道效应（INCE）及模型
NCE窄沟道效应
06
WPE效应概述
阱邻近效应的物理起源 · 对器件性能的影响
WPE效应概述
07
WPE对阈值电压的影响
Vth偏移模型与应力诱导的能带调制
WPE对阈值电压的影响
08
WPE对迁移率的影响
应力导致的迁移率增强与退化机制
WPE对迁移率的影响
09
WPE对饱和电流的影响
Idsat变化与输出电阻的调制
WPE对饱
10
几何缩放与WPE的耦合效应
LOD（Length of Diff…
WPE几何缩放
11
BSIM4模型中的几何缩放参数
SC · SCA · SCB
BSIM4模型
12
BSIM4模型中的WPE参数
WPE0 · WPE1 · WPE2
BSIM4WPE
13
BSIM4模型中的LOD参数
LOD0 · LOD1 · LOD2
BSIM4LOD
14
BSIM4模型中的应力效应参数
SA · SB · SD
BSIM4模型
15
BSIM4模型中的STI应力模型
STI应力对迁移率与Vth的综合影响
BSIM4STI
16
BSIM4模型中的阱邻近效应模型
WPE模型公式推导与参数提取流程
BSIM4模型
17
BSIM4模型中的几何缩放模型
W/L缩放 · 多指栅（Multi-Finger）建…
BSIM4模型
18
BSIM4模型中的温度效应与几何缩放
温度系数与尺寸的依赖关系
BSIM4模型
19
BSIM4模型中的噪声模型与几何缩放
1/f噪声与热噪声的尺寸依赖性
BSIM4模型
20
BSIM4模型中的匹配模型
几何缩放对失配参数（Avt · Aβ）的影响
BSIM4模型
21
BSIM4模型中的可靠性模型
HCI与NBTI效应的几何与WPE依…
BSIM4模型
22
BSIM4模型中的寄生参数建模
栅电阻 · 源漏电阻的几何缩放与WPE效应
BSIM4模型
23
BSIM4模型中的电容模型
栅电容 · 交叠电容 · 结电容的几何与WPE依赖性
BSIM4模型
24
BSIM4模型中的衬底电流模型
衬底电流的几何缩放与WPE效应
BSIM4模型
25
BSIM4模型中的自热效应（SHE）
几何缩放对热阻与热容的影响
BSIM4SHE
26
BSIM4模型中的射频（RF）建模
截止频率fT与最大振荡频率fmax的…
BSIM4RF
27
BSIM4模型中的统计建模
蒙特卡洛仿真中的几何与WPE参数分布
BSIM4模型
28
BSIM4模型参数提取流程
从测试结构设计到参数优化
BSIM4模型参数提取流程
29
BSIM4模型验证与校准
使用IC-CAP/SPICE进行模型…
BSIM4模型验证
30
课程总结与展望
先进节点（FinFET/GAA）中的…
课程总结FinFET/GAA