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光子技术_硅光与光通信工程
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017-薄膜铌酸锂TFLN集成光子工程
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《TFLN PDK与光子芯片设计流程》
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本课程属于:017-薄膜铌酸锂TFLN集成光子工程
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TFLN PDK与光子芯片设计流程
共计 30 章节
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01
课程导入与TFLN技术全景
目标=TFLN材料特性 · 光子芯片优势 · PDK在设计与制造中的角色
TFLN
课程导入
02
TFLN晶圆与工艺基础
目标=薄膜铌酸锂晶圆制备 · 键合与减薄 · 刻蚀工艺
TFLN
晶圆
03
TFLN PDK组成与文件结构
目标=PDK目录组织 · 工艺规范文件 · 器件模型库
TFLN
PDK
04
TFLN光波导基础与设计规则
目标=单模条件 · 弯曲损耗 · 侧壁角影响
TFLN
光波导基础
05
TFLN无源器件PDK单元
目标=定向耦合器 · 多模干涉器 · 微环谐振器
TFLN
PDK
06
TFLN电光调制器PDK模型
目标=行波电极设计 · 速度匹配 · 阻抗匹配
TFLN
PDK
07
TFLN有源与非线性器件PDK
目标=光电探测器集成 · 周期极化铌酸锂 · 二次谐波产生
TFLN
PDK
08
版图设计环境与PDK集成
目标=KLayout · Virtuoso · IPKISS等工具中加载TFLN P…
PDK
版图设计环境
09
设计规则检查与TFLN特定规则
目标=最小线宽 · 间距 · 覆盖
TFLN
设计规则检查
10
光子芯片仿真流程与PDK模型调用
目标=Lumerical · Tidy3D · COMSOL与PDK模型协同
PDK
光子芯片仿真流程
11
TFLN调制器设计实战
目标=目标带宽与半波电压 · 行波电极几何优化 · PDK模型扫描
TFLN
调制器设计实战
12
TFLN微环谐振器设计实战
目标=半径与耦合系数选择 · 品质因子与自由光谱范围 · 热光调谐
TFLN
微环谐振器设计实…
13
TFLN阵列波导光栅设计实战
目标=通道数 · 波长间隔 · 相位误差
TFLN
阵列波导光栅设计…
14
TFLN边缘耦合器与光栅耦合器设计
目标=模斑转换 · 耦合效率 · 带宽
TFLN
边缘耦合器
15
TFLN电光调制器高频电极设计
目标=共面波导 · 差分驱动 · 终端匹配
TFLN
电光调制器高频电…
16
TFLN芯片热管理与热光调谐
目标=热串扰 · 热光系数 · 加热器设计
TFLN
芯片热管理
17
TFLN PDK中的紧凑模型与Verilog-A
目标=行为级建模 · 电光响应 · 非线性效应
TFLN
PDK
18
光电协同设计流程
目标=电子IC与光子芯片联合仿真 · PDK接口 · 信号完整性
光电协同设计流程
IC
19
TFLN芯片测试与PDK模型验证
目标=测试结构设计 · 光纤阵列对准 · 电光S参数测量
TFLN
PDK
20
TFLN流片流程与代工厂交互
目标=MPW与全掩模 · 数据准备 · GDSII提交
TFLN
流片流程
21
TFLN芯片封装与PDK封装模型
目标=光纤耦合封装 · 引线键合 · 倒装焊
TFLN
PDK
22
TFLN PDK版本控制与设计复用
目标=库管理 · 单元版本 · 参数化单元更新
TFLN
PDK
23
TFLN光子芯片设计自动化
目标=脚本化版图生成 · 优化算法 · 机器学习辅助
TFLN
光子芯片设计自动…
24
TFLN PDK中的良率与容差分析
目标=工艺偏差 · 蒙特卡洛仿真 · 灵敏度分析
TFLN
PDK
25
TFLN调制器系统级应用设计
目标=光互连 · 模拟链路 · 微波光子
TFLN
调制器系统级应用…
26
TFLN非线性光学芯片设计
目标=频率梳 · 参量放大 · 量子光源
TFLN
非线性光学芯片设…
27
TFLN PDK与异质集成
目标=与硅光 · III-V · CMOS集成
TFLN
PDK
28
TFLN芯片设计项目实战
目标=从规格到GDSII · PDK调用 · 仿真验证
TFLN
芯片设计项目实战
29
TFLN PDK开发与维护
目标=器件建模 · 测试数据拟合 · 规则文件编写
TFLN
PDK
30
课程总结与前沿展望
目标=TFLN PDK发展趋势 · 设计流程自动化 · 新兴应用
课程总结
前沿展望
所属VIP或分类
同VIP:TFLN与III-V光电子异质集成工程
同VIP:TFLN与SiN异质集成光子工程
同VIP:TFLN封装耦合与高速测试工程