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TFLN与III-V光电子异质集成工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程全景
目标=TFLN与III-V异质集成的… · 核心挑战 · 典型应用场景与课程路线图
课程导入工程全景
02
TFLN材料与器件基础
目标=铌酸锂薄膜的晶相 · 畴结构 · 电光系数
TFLN材料
03
III-V材料与光电子基础
目标=InP · GaAs · GaN等材料体系的光学增益
III-V材料
04
异质集成界面工程
目标=键合界面 · 范德华界面 · 界面态
异质集成界面工程目标=键合界面
05
晶圆键合工艺
目标=亲水/疏水键合 · 等离子体活化 · 退火条件
晶圆键合工艺目标=亲水
06
异质外延与转移印刷
目标=III-V on TFLN的异… · 微转印 · 拾取-放置工艺与良率控制
异质外延转移印刷
07
光耦合与模场匹配
目标=端面耦合 · 光栅耦合 · 锥形波导
光耦合模场匹配
08
TFLN无源器件设计
目标=波导 · 微环 · MZI
TFLN无源器件设计
09
III-V有源器件设计
目标=激光器 · 半导体光放大器 · 探测器与调制器在异质集成中的适配
III-V有源器件设计
10
异质集成激光器
目标=TFLN与III-V增益区集成… · 阈值 · 线宽与调谐机制
异质集成激光器TFLN
11
异质集成调制器
目标=TFLN电光调制器与III-V… · 行波电极设计与带宽优化
异质集成调制器TFLN
12
异质集成探测器
目标=III-V吸收层与TFLN波导… · 暗电流与响应度优化
异质集成探测器III-V
13
异质集成光放大器
目标=III-V增益与TFLN无源波… · 噪声系数与增益带宽
异质集成光放大器III-V
14
异质集成非线性光学
目标=TFLN非线性与III-V增益… · 频率转换与参量过程
异质集成非线性光…TFLN
15
微波-光波转换与集成
目标=TFLN电光调制与III-V光…
微波光波转换
16
异质集成工艺中的热管理
目标=热应力 · 热串扰 · 热调谐与散热结构设计
异质集成工艺热管理
17
异质集成中的电学互连
目标=电极 · 传输线 · 阻抗匹配
异质集成电学互连
18
异质集成中的光学测试
目标=插入损耗 · 耦合损耗 · 光谱响应
异质集成光学测试
19
异质集成中的电学测试
目标=I-V · C-V · S参数
异质集成电学测试
20
异质集成器件的可靠性
目标=老化 · 失效模式 · 温度循环
异质集成器件的可…目标=老化
21
异质集成设计流程与EDA
目标=版图设计 · 工艺设计套件 · 仿真与流片验证迭代
EDA异质集成设计流程
22
异质集成中的良率与可制造性
目标=工艺窗口 · 缺陷控制 · 统计过程控制与成本分析
异质集成良率
23
异质集成在光通信中的应用
目标=数据中心 · 相干传输与硅光平台的异质集成方案
异质集成光通信
24
异质集成在传感与LiDAR中的应用
目标=FMCW激光雷达 · 光学相控阵与异质集成收发模块
LiDAR异质集成
25
异质集成在量子光子学中的应用
目标=量子光源 · 单光子探测与TFLN/III-V异质…
异质集成量子光子学
26
异质集成在微波光子学中的应用
目标=波束成形 · 滤波与TFLN/III-V异质集成前…
异质集成微波光子学
27
异质集成在计算与互连中的应用
目标=光互连 · 光计算与异质集成光引擎
异质集成计算
28
异质集成前沿
目标=二维材料辅助集成 · 异质集成与CMOS共集成 · 三维集成与先进封装
异质集成前沿目标=二维材料辅…
29
实战项目一
目标=设计并仿真一个TFLN与III… · 完成结构 · 工艺与性能评估
实战项目一TFLN
30
实战项目二
目标=设计并仿真一个TFLN与III… · 完成版图 · 测试方案与结果分析
实战项目二TFLN