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TFLN与SiN异质集成光子工程

共计 30 章节
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01
课程导入与异质集成全景
目标=TFLN与SiN的材料特性对比 · 异质集成在光子芯片中的价值 · 典型应用场景与课程路线图
课程导入异质集成全景
02
TFLN薄膜制备与转移工艺
目标=离子切片法 · 键合剥离 · 薄膜厚度控制
TFLN薄膜制备
03
SiN薄膜沉积与低损耗工艺
目标=LPCVD · PECVD · 退火工艺
SiN薄膜沉积
04
异质集成界面工程
目标=直接键合 · 表面活化 · 等离子体处理
异质集成界面工程目标=直接键合
05
TFLN与SiN波导模式分析
目标=有效折射率 · 模式限制因子 · 弯曲损耗
TFLNSiN
06
异质集成波导的仿真流程
目标=FDTD · FDE · EME方法选择
异质集成波导的仿…FDTD
07
TFLN/SiN微环谐振器设计
目标=半径 · 耦合系数 · 自由光谱范围
TFLN/SiN微环谐振器设计
08
TFLN/SiN微环谐振器制作与测试
目标=电子束光刻 · 刻蚀 · 端面耦合
TFLN/SiN微环谐振器制作
09
TFLN电光调制器原理
目标=普克尔斯效应 · 行波电极设计 · 速度匹配
TFLN电光调制器原理
10
TFLN/SiN异质集成调制器设计
目标=光模场与微波场重叠优化 · 电极几何 · 掺杂与损耗权衡
TFLN/SiN异质集成调制器设…
11
TFLN/SiN调制器制作与表征
目标=电极沉积 · 剥离工艺 · S参数测量
TFLN/SiN调制器制作
12
SiN非线性光学基础
目标=克尔非线性 · 四波混频 · 自相位调制
SiN非线性光学基础
13
TFLN/SiN异质集成非线性器件
目标=微环中的频率梳产生 · 参量放大 · 波长转换与效率优化
TFLN/SiN异质集成非线性器…
14
TFLN/SiN异质集成声光器件
目标=声表面波激发 · 声光耦合 · 移频器与隔离器设计
TFLN/SiN异质集成声光器件
15
TFLN/SiN异质集成激光器
目标=增益介质集成方案 · 外腔激光器 · 可调谐激光器与窄线宽实现
TFLN/SiN异质集成激光器
16
TFLN/SiN异质集成探测器
目标=波导集成光电探测器 · 吸收层键合 · 暗电流与响应度优化
TFLN/SiN异质集成探测器
17
TFLN/SiN异质集成光开关与移相器
目标=热光 · 电光 · MEMS方案对比
TFLN/SiN异质集成光开关
18
TFLN/SiN异质集成微波光子链路
目标=调制器 · 滤波器 · 延迟线集成
TFLN/SiN异质集成微波光子…
19
TFLN/SiN异质集成量子光子器件
目标=单光子源 · 量子门 · 纠缠产生与片上量子干涉
TFLN/SiN异质集成量子光子…
20
TFLN/SiN异质集成封装与光纤耦合
目标=端面耦合器 · 光栅耦合器 · 封装应力与热管理
TFLN/SiN异质集成封装
21
TFLN/SiN异质集成工艺良率与可靠性
目标=缺陷分析 · 热循环测试 · 长期稳定性与失效机制
TFLN/SiN异质集成工艺良率
22
TFLN/SiN异质集成测试平台搭建
目标=激光源 · 偏振控制 · 探测系统
TFLN/SiN异质集成测试平台…
23
TFLN/SiN异质集成设计自动化
目标=版图工具 · PDK构建 · 仿真与流片衔接
TFLN/SiN异质集成设计自动…
24
TFLN/SiN异质集成在光通信中的应用
目标=相干收发 · 波分复用 · 数据中心互连与系统级验证
TFLN/SiN异质集成
25
TFLN/SiN异质集成在传感中的应用
目标=生物传感 · 气体传感 · 陀螺仪与片上光谱仪
TFLN/SiN异质集成
26
TFLN/SiN异质集成在微波光子雷达中的应用
目标=波束形成 · 真延时 · 宽带信号处理与集成挑战
TFLN/SiN异质集成
27
TFLN/SiN异质集成在光计算中的应用
目标=矩阵乘法 · 非线性激活 · 光子神经网络与集成架构
TFLN/SiN异质集成
28
TFLN/SiN异质集成前沿进展
目标=异质集成平台最新成果 · 多材料集成 · 三维集成与晶圆级制造
TFLN/SiN异质集成前沿进展
29
TFLN/SiN异质集成项目实战
目标=从指标定义 · 仿真设计 · 版图绘制到流片与测试的完整项目流程
TFLN/SiN异质集成项目实战
30
课程总结与展望
目标=核心知识回顾 · 技术瓶颈 · 未来方向与产业化路径
课程总结目标=核心知识回…