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本课程属于：017-薄膜铌酸锂TFLN集成光子工程 光子技术_硅光与光通信工程 · 共 10 门相关课程，组合学习更完整。
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TFLN高速电光调制器设计工程

共计 30 章节
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01
课程导入与TFLN调制器工程全景
目标=学习目标 · 薄膜铌酸锂材料优势 · 高速电光调制器在光通信与数据中心中的…
TFLN课程导入
02
TFLN材料与晶圆工程基础
目标=铌酸锂晶体结构 · 电光系数张量 · 薄膜制备方法（Smart Cut
TFLN材料
03
TFLN光波导理论与设计
目标=单模条件 · 弯曲损耗 · 模式重叠
TFLN光波导理论
04
行波电极微波传输线基础
目标=共面波导与共面带状线结构 · 特征阻抗 · 微波折射率
行波电极微波传输…目标=共面波导
05
TFLN调制器等效电路建模
目标=电极RLCG参数提取 · 结电容与串联电阻 · 传输线方程
TFLN调制器等效电路建…
06
高速调制器性能指标定义与测试
目标=半波电压Vπ · 电光带宽 · 消光比
高速调制器性能指…测试
07
TFLN调制器版图设计实战
目标=从波导到电极的完整版图规划 · GSG探针焊盘 · 光栅耦合器与边缘耦合器集成
TFLN调制器版图设计实…
08
行波电极速度与阻抗匹配设计
目标=微波折射率调控方法 · 电极厚度与间距优化 · 负载端接方案
行波电极速度阻抗匹配设计
09
TFLN调制器电极损耗与带宽优化
目标=导体损耗与介质损耗分离 · 趋肤效应 · 电极截面形状优化
TFLN调制器电极损耗
10
TFLN调制器半波电压降低策略
目标=电极间距缩小 · 波导光场限制增强 · 慢光结构
TFLN调制器半波电压降…
11
TFLN调制器行波电极驱动电压与线性度
目标=线性电光响应 · 线性度指标 · 预失真与偏置控制
TFLN调制器行波电极驱…
12
TFLN调制器频率响应仿真
目标=有限元法提取微波有效折射率与损… · 电光S21仿真 · 与实测对比校准方法
TFLN调制器频率响应仿…
13
TFLN调制器时域与眼图仿真
目标=行波电极脉冲响应 · NRZ与PAM4信号仿真 · 眼图张开度与抖动分析
TFLN调制器时域
14
TFLN调制器热光与电光联合仿真
目标=热光相移器集成 · 温度对偏置点影响 · 热串扰与功耗优化
TFLN调制器热光
15
TFLN调制器制备工艺与设计协同
目标=光刻与刻蚀工艺窗口 · 电极电镀 · 退火工艺
TFLN调制器制备工艺
16
TFLN调制器封装与高频互连
目标=光纤耦合封装 · 微波连接器与引线键合 · 封装寄生参数
TFLN调制器封装
17
TFLN调制器驱动电路协同设计
目标=驱动器输出阻抗与摆幅 · 偏置Tee · 直流偏置网络
TFLN调制器驱动电路协…
18
TFLN调制器偏置控制与稳定性
目标=偏置点漂移机制 · 自动偏置控制算法 · 长期可靠性
TFLN调制器偏置控制
19
TFLN调制器小信号与大信号测量
目标=矢量网络分析仪校准 · 电光S参数提取 · 大信号眼图与误码率测试平台搭建
TFLN调制器小信号
20
TFLN调制器高频测试去嵌入与校准
目标=探针与夹具去嵌入 · 参考面移动 · 校准件设计
TFLN调制器高频测试去…
21
TFLN调制器设计案例
目标=100Gbps NRZ调制器从… · 波导与电极参数选择 · 仿真验证
TFLN调制器设计案例
22
TFLN调制器设计案例
目标=200Gbps PAM4调制器… · 带宽与信噪比折衷 · 驱动与调制器联合设计
TFLN调制器设计案例
23
TFLN调制器设计案例
目标=相干通信IQ调制器 · 90度光混合 · 偏置控制
TFLN调制器设计案例
24
TFLN调制器设计案例
目标=高速行波电极与慢光结构集成 · 群速度调控 · 带宽与损耗权衡
TFLN调制器设计案例
25
TFLN调制器设计案例
目标=薄膜铌酸锂与硅光异质集成 · 模斑转换 · 工艺兼容性
TFLN调制器设计案例
26
TFLN调制器可靠性工程
目标=失效模式分析 · 电迁移 · 介质击穿
TFLN调制器可靠性工程
27
TFLN调制器设计自动化与PDK
目标=参数化单元 · 仿真与版图自动化流程 · PDK开发
TFLNPDK
28
TFLN调制器前沿技术
目标=薄膜铌酸锂微环调制器 · 光子晶体调制器 · 太赫兹调制器
TFLN调制器前沿技术
29
TFLN调制器系统级应用与指标分解
目标=数据中心互连 · 城域网 · 相干传输
TFLN调制器系统级应用
30
课程综合项目
目标=完整TFLN高速调制器设计 · 仿真 · 版图与测试报告
课程综合项目TFLN