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薄膜铌酸锂集成光子平台工程

共计 30 章节
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01
课程导入与平台全景
目标=薄膜铌酸锂（TFLN）集成光子… · 核心优势 · 典型应用场景与课程学习地图
课程导入平台全景
02
TFLN材料体系与晶圆工程
目标=铌酸锂晶体结构 · 铁电与电光特性 · 晶圆键合与剥离工艺
TFLN材料体系
03
TFLN光子集成平台工艺流程
目标=从体材料到薄膜晶圆 · 光刻与刻蚀 · 侧壁角度控制
TFLN光子集成平台工艺…
04
TFLN光波导理论与设计
目标=单模条件 · 弯曲损耗 · 模式匹配
TFLN光波导理论
05
TFLN微纳加工关键工艺
目标=电子束光刻 · 电感耦合等离子体刻蚀 · 掩模选择
TFLN微纳加工关键工艺
06
TFLN无源器件设计与仿真
目标=定向耦合器 · 多模干涉器 · 阵列波导光栅
TFLN无源器件设计
07
TFLN电光调制器原理与设计
目标=马赫-曾德尔调制器 · 行波电极设计 · 速度匹配
TFLN电光调制器原理
08
TFLN调制器制备与测试
目标=电极制备 · 封装耦合 · 半波电压
TFLN调制器制备
09
TFLN微环调制器与谐振器件
目标=品质因子调控 · 电光调谐 · 热光调谐
TFLN微环调制器
10
TFLN非线性光学器件
目标=周期极化 · 二次谐波产生 · 自发参量下转换
TFLN非线性光学器件
11
TFLN声光与光机械器件
目标=声光调制 · 布里渊散射 · 光机械耦合
TFLN声光
12
TFLN有源集成与异质集成
目标=激光器集成 · 探测器集成 · 与硅基/III-V族材料的异质键合与…
TFLN有源集成
13
TFLN平台的光纤-芯片耦合
目标=端面耦合 · 光栅耦合 · 模斑转换器
TFLN平台的光纤
14
TFLN器件的封装与可靠性
目标=封装材料 · 热管理 · 长期稳定性
TFLN器件的封装
15
TFLN光子芯片的测试与表征
目标=插入损耗 · 偏振特性 · 电光响应
TFLN光子芯片的测试
16
TFLN平台设计工具与PDK
目标=仿真软件 · 版图工具 · 工艺设计套件
TFLNPDK
17
TFLN电光调制器在光通信中的应用
目标=高速数据传输 · 相干通信 · 数据中心互连
TFLN电光调制器
18
TFLN微波光子学应用
目标=射频前端 · 波束成形 · 可调滤波
TFLN微波光子学应用
19
TFLN量子光子学应用
目标=量子光源 · 量子门 · 纠缠产生
TFLN量子光子学应用
20
TFLN传感与生物光子学应用
目标=折射率传感 · 生物分子检测 · 电场传感
TFLN传感
21
TFLN光计算与人工智能加速
目标=光学矩阵乘法 · 非线性激活 · 光子神经网络与集成架构
TFLN光计算
22
TFLN平台的可制造性与良率
目标=工艺窗口 · 缺陷控制 · 晶圆级测试
TFLN平台的可制造性
23
TFLN与硅基光子平台的对比与融合
目标=材料特性 · 工艺兼容性 · 异质集成方案与协同设计
TFLN硅基光子平台的对…
24
TFLN平台的热光与电光协同调控
目标=热光系数 · 热串扰 · 电光调谐效率
TFLN平台的热光
25
TFLN薄膜的极化与畴工程
目标=周期极化 · 畴反转 · 极化电极设计
TFLN薄膜的极化
26
TFLN平台中的偏振管理
目标=偏振旋转 · 偏振分束 · 偏振无关器件设计与偏振控制
TFLN平台
27
TFLN集成光子系统的系统级设计
目标=链路预算 · 噪声分析 · 串扰管理
TFLN集成光子系统的系…
28
TFLN平台工程实战
目标=设计并仿真一个电光调制器 · 完成版图 · 流片与测试全流程
TFLN平台工程实战
29
TFLN平台工程实战
目标=设计并制备一个微环谐振器滤波器 · 分析其光谱与调谐特性
TFLN平台工程实战
30
TFLN平台前沿与未来展望
目标=新器件架构 · 异质集成趋势 · 量子与AI应用前景
TFLN平台前沿