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本课程属于：015-真空系统、检漏与腔体密封工程 高端制造、半导体装备与精密工程 · 共 13 门相关课程，组合学习更完整。
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超高真空金属密封与烘烤除气工程

共计 30 章节
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01
超高真空系统对密封与除气的核心需求
目标=明确本课程要解决的工程问题 · 包括漏率指标 · 出气率预算
超高真空系统对密…除气的核心需求
02
金属密封的物理基础
目标=理解金属塑性变形 · 弹性回弹 · 接触应力与微观粗糙度如何共同决定密封…
金属密封的物理基…目标=理解金属塑…
03
刀口密封原理与结构
目标=剖析CF刀口法兰的刃口角度 · 硬度匹配 · 压紧力矩与重复使用次数对密封可靠性的…
刀口密封原理结构
04
金属垫片密封类型与选型
目标=对比无氧铜 · 铝 · 镍
金属垫片密封类型选型
05
法兰与密封面加工质量
目标=掌握密封面粗糙度 · 平面度 · 同心度
法兰密封面加工质量
06
金属密封的装配工艺
目标=制定清洁 · 对中 · 润滑
金属密封的装配工…目标=制定清洁
07
金属密封的检漏与失效判定
目标=使用氦质谱检漏 · 压力上升法 · 局部喷氦法定位漏点
金属密封的检漏失效判定
08
金属密封的重复拆装与再生
目标=评估刀口修复 · 垫片更换 · 表面再处理与退火工艺对二次装配密封性…
金属密封的重复拆…再生
09
烘烤除气的物理化学机制
目标=分析吸附水 · 碳氢化合物 · 氢气在金属表面的脱附
烘烤除气的物理化…目标=分析吸附水
10
材料出气率数据库与估算
目标=获取不锈钢 · 铝合金 · 铜
材料出气率数据库估算
11
表面处理对除气的决定性作用
目标=比较机械抛光 · 电解抛光 · 化学钝化
表面处理对除气的…目标=比较机械抛…
12
真空烘烤系统设计
目标=设计烘烤罩 · 加热带 · 热电偶布局
真空烘烤系统设计目标=设计烘烤罩
13
烘烤温度曲线与工艺窗口
目标=制定阶梯升温 · 恒温烘烤 · 受控降温曲线
烘烤温度曲线工艺窗口
14
烘烤过程中的实时监测
目标=使用残余气体分析仪 · 真空计 · 温度记录仪判断水峰
烘烤过程实时监测
15
烘烤后冷却与复压策略
目标=确定冷却速率 · 回充气体种类与压力 · 防止水汽回吸和密封界面污染
烘烤后冷却复压策略
16
金属密封与烘烤的耦合失效
目标=分析高温下垫片蠕变 · 刀口氧化 · 法兰热变形与不同材料热膨胀失配导致的…
金属密封烘烤的耦合失效
17
不锈钢真空腔体的密封与烘烤实战
目标=从法兰选型 · 垫片安装 · 检漏到烘烤除气的完整操作与问题排查
不锈钢真空腔体的…烘烤实战
18
铝合金真空腔体的低温烘烤方案
目标=针对铝合金低熔点 · 高出气率特点 · 设计密封形式
铝合金真空腔体的…目标=针对铝合金…
19
铜及铜合金部件的密封与除气
目标=处理铜垫片退火 · 铜腔体烘烤氧化 · 铜与不锈钢异种材料连接处的密封难题
铜合金部件的密封除气
20
观察窗、陶瓷馈通与金属密封的集成
目标=解决蓝宝石/石英窗 · 陶瓷绝缘子与金属法兰封接处的热失配与…
观察窗陶瓷馈通
21
运动馈通与波纹管的密封烘烤
目标=评估磁流体 · 焊接波纹管 · 差动抽气密封在烘烤温度下的寿命与漏率…
运动馈通波纹管的密封烘烤
22
大型超高真空系统的分区烘烤
目标=制定多腔体 · 长管道 · 复杂法兰布局下的分区加热
大型超高真空系统…目标=制定多腔体
23
残余气体分析与除气效果评价
目标=通过RGA谱图定量水 · 氢 · 一氧化碳
残余气体分析除气效果评价
24
漏率与出气率的联合诊断
目标=区分真实漏孔 · 虚拟漏 · 材料出气和泵返流对总压上升的贡献
漏率出气率的联合诊断
25
金属密封失效案例库
目标=分析刀口划伤 · 垫片过压 · 热循环松弛
金属密封失效案例…目标=分析刀口划…
26
烘烤除气不良案例库
目标=分析烘烤温度不足 · 升温过快 · 保温时间短
烘烤除气不良案例…目标=分析烘烤温…
27
超高真空密封与烘烤的洁净度控制
目标=建立装配区洁净等级 · 手套 · 工具
超高真空密封烘烤的洁净度控制
28
工艺规范与作业指导书编写
目标=将密封装配 · 检漏 · 烘烤
工艺规范作业指导书编写
29
在线烘烤与原位除气技术
目标=针对无法整体烘烤的部件 · 设计局部加热 · 电子轰击
线烘烤原位除气技术
30
课程综合实战
目标=给定一个超高真空金属密封系统目… · 完成密封选型 · 装配检漏
课程综合实战目标=给定一个超…