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晶圆视觉对准、旋转中心标定与精密定位工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程问题定义
目标=晶圆视觉对准 · 旋转中心标定与精密定位的典型场景 · 技术指标
课程导入工程问题定义
02
晶圆与对准标记的视觉特征
目标=晶圆表面 · 缺口/平边 · 对准标记
晶圆对准标记的视觉特…
03
视觉对准系统硬件选型与搭建
目标=相机 · 镜头 · 光源
视觉对准系统硬件…搭建
04
相机模型与标定基础
目标=针孔模型 · 畸变模型 · 内外参标定流程及其在晶圆对准中的精度…
相机模型标定基础
05
手眼标定与坐标变换链
目标=像素坐标 · 相机坐标 · 运动台坐标
手眼标定坐标变换链
06
晶圆图像预处理与增强
目标=去噪 · 对比度增强 · 背景抑制
晶圆图像预处理增强
07
对准标记检测与定位算法
目标=模板匹配 · 特征匹配 · 形态学方法
对准标记检测定位算法
08
晶圆缺口/平边检测与角度估计
目标=缺口识别 · 平边拟合 · 角度计算与旋转偏差提取的工程实现
晶圆缺口平边检测
09
旋转中心标定原理
目标=旋转中心定义 · 标定模型 · 基于多点拟合与基于图像配准的标定方法
旋转心标定原理
10
旋转中心标定实战
目标=标定板/标记设计 · 数据采集 · 最小二乘拟合
旋转心标定实战
11
晶圆旋转偏差测量与补偿
目标=旋转角度测量 · 偏心量计算 · 旋转中心偏移对对准精度的影响与修正
晶圆旋转偏差测量补偿
12
精密定位控制基础
目标=运动台控制 · 伺服参数 · 轨迹规划与视觉伺服在晶圆定位中的集成
精密定位控制基础目标=运动台控制
13
视觉伺服对准控制
目标=基于图像的视觉伺服 · 基于位置的视觉伺服 · 混合视觉伺服与收敛性分析
视觉伺服对准控制目标=基于图像的…
14
多自由度对准与解耦
目标=X/Y/θ 三自由度对准 · 耦合误差分析 · 解耦控制与迭代对准策略
多自由度对准解耦
15
对准精度评估与误差分析
目标=重复精度 · 绝对精度 · 误差来源分解
对准精度评估误差分析
16
光照与成像条件优化
目标=同轴光 · 环形光 · 暗场
光照成像条件优化
17
镜头畸变与透视误差补偿
目标=畸变校正 · 远心镜头选型 · 透视误差建模与补偿方法
镜头畸变透视误差补偿
18
亚像素定位与插值算法
目标=灰度重心 · 曲线拟合 · 相位相关
亚像素定位插值算法
19
晶圆对准中的图像匹配加速
目标=金字塔搜索 · ROI 预测 · GPU/FPGA 加速与实时性优化
晶圆对准图像匹配加速
20
旋转中心标定中的非线性优化
目标=Levenberg-Marqu… · 遗传算法 · 粒子群优化在标定参数求解中的应用
旋转心标定
21
晶圆对准系统标定流程集成
目标=相机标定 · 手眼标定 · 旋转中心标定
晶圆对准系统标定…目标=相机标定
22
温度、振动与漂移补偿
目标=环境因素对对准精度的影响 · 实时补偿与稳定性控制方法
温度振动
23
晶圆对准中的异常检测与容错
目标=标记缺失 · 污染 · 划痕
晶圆对准异常检测
24
精密定位中的反馈与闭环
目标=编码器 · 干涉仪 · 视觉反馈融合
精密定位反馈
25
晶圆对准与定位的软件架构
目标=模块化设计 · 通信接口 · 实时调度
晶圆对准定位的软件架构
26
实战案例一
目标=8 英寸晶圆缺口对准与旋转中心…
实战案例一目标=8
27
实战案例二
目标=12 英寸晶圆套刻标记视觉对准…
实战案例二目标=12
28
实战案例三
目标=基于远心视觉的晶圆旋转中心快速…
实战案例三目标=基于远心视…
29
系统性能测试与验收
目标=测试用例设计 · 精度重复性测试 · 生产节拍评估与验收标准
系统性能测试验收
30
前沿趋势与课程总结
目标=深度学习对准 · 无标记对准 · 纳米级定位
前沿趋势课程总结