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《工艺适配与版图规则深度解析》
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工艺适配与版图规则深度解析
📚 共计 30 章节
01
工艺节点演进史
从微米到纳米,摩尔定律的物理极限与工艺代际划分。
摩尔定律
节点
02
Foundry工艺平台概览
TSMC、Samsung、SMIC主流工艺节点对比与选型策略。
代工厂
选型
03
版图设计基础
图层定义、设计规则检查(DRC)与版图层次结构。
图层
DRC
04
Design Rule详解(上)
最小宽度、最小间距、最小包围规则及其物理意义。
宽度
间距
05
Design Rule详解(中)
天线效应规则、密度规则、阱连接规则。
天线
密度
06
Design Rule详解(下)
金属层通孔规则、ESD规则、Latch-up预防规则。
通孔
ESD
07
工艺角与版图设计
SS、FF、TT corner对版图尺寸的影响。
PVT
Corner
08
匹配性设计(上)
共质心布局、叉指结构、虚拟器件(Dummy)技术。
共质心
Dummy
09
匹配性设计(下)
温度梯度补偿、应力效应缓解、对称布线策略。
应力
对称
10
寄生参数提取与优化
寄生电容、寄生电阻对电路性能的影响及版图优化。
寄生
优化
11
天线效应与防护
天线比率计算、跳线法、二极管插入法。
天线
跳线
12
闩锁效应(Latch-up)防护
Guard Ring设计、衬底接触、阱接触策略。
Guard Ring
阱
13
ESD防护设计
GGNMOS、SCR、电源钳位电路版图实现。
GGNMOS
SCR
14
电源地网络设计
IR Drop分析、EM可靠性、电源环与电源条带设计。
IR Drop
EM
15
时钟树综合与版图
时钟屏蔽、时钟歪斜控制、H-tree与Mesh结构。
时钟树
H-tree
16
模拟版图特殊考虑
差分对布线、电流镜对称性、屏蔽与隔离。
差分对
屏蔽
17
射频版图设计
传输线、电感建模、隔离岛与深N阱技术。
传输线
深N阱
18
存储器版图设计
SRAM单元布局、位线/字线优化、敏感放大器布局。
SRAM
位线
19
数字标准单元库设计
单元高度、Pin Access、VT族与功耗权衡。
标准单元
VT
20
层次化版图设计
Top-down与Bottom-up流程、Blockage与Fence区域。
层次化
Blockage
21
版图验证流程
DRC、LVS、ERC、ANT检查全流程解析。
DRC
LVS
22
LVS一致性检查
器件识别、节点匹配、错误调试技巧。
LVS
调试
23
RC提取与后仿真
寄生参数文件格式(DSPF、SPEF)、后仿收敛问题。
DSPF
后仿
24
工艺迁移与设计移植
从旧工艺到新工艺的版图缩放与规则适配。
迁移
缩放
25
多项目晶圆与流片策略
Shuttle规划、面积估算、PAD分配。
MPW
流片
26
可制造性设计(DFM)
OPC、CMP、光刻热点检测与修复。
OPC
CMP
27
可靠性设计(DFR)
电迁移(EM)、热载流子注入(HCI)、NBTI。
EM
NBTI
28
先进工艺挑战(7nm及以下)
EUV光刻、多重图形、FinFET与GAA版图差异。
EUV
FinFET
29
版图设计自动化
脚本辅助DRC修复、Skill脚本、Calibre命令行自动化。
Skill
Calibre
30
综合案例实战
一个运算放大器从电路到版图的全流程工艺适配与规则检查。
运放
全流程
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