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Sentaurus仿真结果不确定度与敏感性分析

共计 30 章节
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01
课程导入与不确定性认知
目标=介绍Sentaurus TCA… · 区分偶然不确定度与认知不确定度 · 说明不确定度量化对仿真可信度的意义
课程导入不确定性认知
02
Sentaurus仿真流程与不确定度来源映射
目标=梳理Sentaurus Wor… · SDE · SDevice
Sentaurus仿真流程
03
不确定度建模的数学基础
目标=讲解随机变量 · 概率分布 · 联合分布
不确定度建模的数…目标=讲解随机变…
04
敏感性分析的基本概念与分类
目标=定义局部敏感性与全局敏感性 · 区分筛选 · 排序与定量分解目标
敏感性分析的基本…分类
05
Sentaurus参数化仿真与实验设计
目标=在Sentaurus Work… · 使用SWB参数扫描与实验设计表 · 完成一次面向MOSFET阈值电压的拉…
Sentaurus参数化仿真
06
局部敏感性分析方法与Sentaurus实现
目标=推导有限差分与自动微分形式的局… · 利用Sentaurus的参数扫描功能… · 沟道掺杂的偏导数
Sentaurus局部敏感性分析方…
07
全局敏感性分析
目标=Sobol指数与方差分解 · 二阶指数与总效应指数的定义 · 结合Sentaurus输出响应说明如…
全局敏感性分析Sobol
08
基于Sentaurus的蒙特卡洛不确定度传播
目标=设计蒙特卡洛采样流程 · 调用Sentaurus批量仿真 · 统计输出特性的均值
Sentaurus基于
09
代理模型与加速不确定性分析
目标=介绍多项式混沌展开 · Kriging与神经网络代理模型 · 利用少量Sentaurus仿真样本构…
代理模型加速不确定性分析
10
Sentaurus仿真中的数值不确定度评估
目标=分析网格尺寸 · 收敛容差 · 迭代次数与求解器选择对仿真结果的影响
Sentaurus仿真
11
工艺参数波动的不确定度分析实战
目标=以离子注入剂量 · 退火温度与刻蚀深度为随机输入 · 在Sentaurus Process…
工艺参数波动的不…目标=以离子注入…
12
器件结构参数的不确定度分析实战
目标=以FinFET或纳米片器件的鳍… · 栅长 · 侧墙厚度为随机变量
器件结构参数的不…FinFET
13
材料参数不确定度的敏感性排序
目标=针对迁移率模型 · 带隙窄化 · 复合寿命等材料参数
材料参数不确定度…目标=针对迁移率…
14
模型选择与模型形式不确定度
目标=比较漂移扩散 · 流体动力学与蒙特卡洛模型在相同器件结… · 讨论模型形式不确定度的来源
模型选择模型形式不确定度
15
边界条件与接触模型的不确定度影响
目标=分析接触电阻 · 界面陷阱与热边界条件的不确定度对Se… · 并通过敏感性分析确定优先校准的边界参…
边界条件接触模型的不确定…
16
温度与自热效应的不确定度传播
目标=在Sentaurus中耦合热学… · 将环境温度波动与热阻参数不确定度传播… · 评估自热效应下的性能分布与可靠性风险
温度自热效应的不确定…
17
辐射与可靠性场景中的不确定度分析
目标=针对总剂量效应与单粒子翻转 · 在Sentaurus中设置辐射模型参… · 量化其对器件阈值漂移与瞬态电流的敏感…
辐射可靠性场景
18
基于Python的Sentaurus不确定度分析自动化
目标=使用Python脚本调用Sen… · 自动完成参数采样 · 仿真提交
PythonSentaurus
19
敏感性分析结果的统计检验与置信度
目标=介绍Bootstrap重采样 · 置信区间估计与假设检验 · 评估Sobol指数与蒙特卡洛统计量的…
敏感性分析结果的…置信度
20
相关输入下的不确定度与敏感性分析
目标=处理Sentaurus输入参数… · 介绍Copula方法与相关采样技术 · 并比较相关与独立假设下的敏感性排序差…
相关输入下的不确…敏感性分析
21
多输出响应的不确定度与敏感性分析
目标=针对同时关注Vth · Ion · Ioff与跨导的多目标场景
多输出响应的不确…敏感性分析
22
工艺-器件联合仿真的不确定度传播
目标=构建Sentaurus Pro… · 将工艺波动传递至器件特性 · 量化跨模块不确定度传播并与单模块分析…
工艺器件联合仿真的不…
23
不确定度量化结果的验证与确认
目标=设计验证实验 · 比较Sentaurus不确定度预测与… · 使用覆盖率
不确定度量化结果…确认
24
面向设计优化的敏感性驱动参数校准
目标=基于敏感性排序结果 · 选择关键参数进行反向校准 · 在Sentaurus中结合优化算法降…
面向设计优化的敏…目标=基于敏感性…
25
鲁棒设计与工艺窗口的不确定度约束
目标=将不确定度量化嵌入Sentau… · 定义满足良率约束的鲁棒设计区域 · 并通过敏感性分析指导工艺容差分配
鲁棒设计工艺窗口的不确定…
26
大规模Sentaurus仿真资源与不确定度分析调度
目标=讨论并行计算 · 作业调度与样本管理策略 · 优化蒙特卡洛与Sobol采样在集群上…
Sentaurus大规模
27
不确定度分析报告与可视化
目标=设计面向工程决策的不确定度报告 · 使用小提琴图 · Sobol指数条形图
不确定度分析报告可视化
28
案例复盘
目标=先进逻辑器件性能波动的全流程分… · 输入建模 · 采样设计
案例复盘目标=先进逻辑器…
29
案例复盘
目标=功率器件击穿电压的不确定度与敏… · 量化外延层厚度 · 掺杂浓度与缺陷密度不确定度对击穿电压…
案例复盘目标=功率器件击…
30
课程总结与前沿展望
目标=回顾Sentaurus不确定度… · 讨论机器学习代理模型 · 贝叶斯校准与数字孪生趋势
课程总结前沿展望