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Sentaurus器件可靠性与失效分析

共计 30 章节
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01
课程导入与工具全景
目标=Sentaurus TCAD套… · 器件可靠性分析在TCAD中的定位 · 失效分析典型工作流
课程导入工具全景
02
Sentaurus Workbench基础操作
目标=项目创建 · 节点与变量管理 · 实验设计
SentaurusWorkbench
03
Sentaurus Structure Editor器件建模
目标=二维/三维结构生成 · 掺杂分布定义 · 网格划分策略
SentaurusStructure
04
Sentaurus Device物理模型配置
目标=漂移扩散方程 · 迁移率模型 · 复合模型
SentaurusDevice
05
器件电学特性仿真与实验对标
目标=Id-Vg · Id-Vd · C-V曲线提取
器件电学特性仿真实验对标
06
热载流子注入退化仿真
目标=HCI物理机制 · 界面态产生模型 · Sentaurus中HCI退化建模
热载流子注入退化…HCI
07
负偏压温度不稳定性仿真
目标=NBTI/PBTI反应扩散模型 · 缺陷能级定义 · Sentaurus中NBTI仿真流程
负偏压温度不稳定…NBTI/PBTI
08
时间依赖介质击穿仿真
目标=TDDB物理模型 · 渗流路径统计 · Sentaurus中击穿概率计算
时间依赖介质击穿…TDDB
09
电迁移与热迁移仿真
目标=EM物理方程 · 原子通量散度 · Sentaurus中EM分析模块
电迁移热迁移仿真
10
静电放电与闩锁效应仿真
目标=ESD应力模型 · 寄生BJT触发 · Sentaurus中TLP仿真
静电放电闩锁效应仿真
11
辐射效应与单粒子翻转仿真
目标=总剂量效应 · 单粒子瞬态 · Sentaurus中辐射模型
辐射效应单粒子翻转仿真
12
功率器件可靠性仿真
目标=功率MOSFET/IGBT退化… · 雪崩耐量 · 短路耐受
功率器件可靠性仿…MOSFET/IGBT
13
先进节点器件可靠性挑战
目标=FinFET/GAA结构退化特… · 自热效应 · 界面缺陷影响
先进节点器件可靠…FinFET/GAA
14
失效分析中的失效定位技术
目标=OBIRCH · EMMI · 锁相热成像原理
失效分析失效定位技术
15
失效分析中的物理表征方法
目标=FIB-SEM · TEM · EDS在失效分析中的应用
失效分析物理表征方法
16
Sentaurus与失效分析数据融合
目标=仿真-测试闭环 · 参数提取与反推 · 缺陷模型校准
Sentaurus失效分析数据融合
17
可靠性仿真中的统计与变异分析
目标=工艺涨落 · 随机缺陷 · 蒙特卡洛方法
可靠性仿真统计
18
加速寿命试验与仿真关联
目标=加速因子计算 · Arrhenius模型 · Sentaurus中温度/电压加速仿…
加速寿命试验仿真关联
19
电路级可靠性仿真
目标=Sentaurus与SPICE… · 老化感知电路仿真 · 关键路径退化分析
电路级可靠性仿真Sentaurus
20
热载流子退化实验与仿真对标
目标=HCI测试结构设计 · 退化参数提取 · Sentaurus HCI模型校准案…
热载流子退化实验仿真对标
21
NBTI长期退化预测与仿真验证
目标=NBTI应力/恢复实验 · Sentaurus模型参数提取 · 十年寿命预测案例
NBTI长期退化预测
22
TDDB统计分布与仿真拟合
目标=Weibull分布分析 · 面积缩放 · Sentaurus TDDB仿真与实…
TDDB统计分布
23
电迁移失效案例仿真复现
目标=实际EM失效案例 · Sentaurus EM仿真复现 · 改进方案评估
电迁移失效案例仿…EM
24
ESD失效案例仿真分析
目标=ESD损伤形貌 · Sentaurus TLP仿真复现 · 保护结构优化
ESD失效案例仿真分析
25
辐射失效案例仿真分析
目标=单粒子翻转实验 · Sentaurus仿真复现 · 加固措施评估
辐射失效案例仿真…目标=单粒子翻转…
26
功率器件短路失效仿真
目标=短路测试波形 · Sentaurus电-热仿真 · 失效机理分析
功率器件短路失效…目标=短路测试波…
27
FinFET自热与可靠性耦合仿真
目标=自热效应测量 · Sentaurus热仿真 · 可靠性退化耦合分析
FinFET自热
28
三维器件失效分析仿真
目标=三维结构失效定位 · Sentaurus三维仿真 · 失效机理可视化
三维器件失效分析…目标=三维结构失…
29
可靠性仿真自动化与脚本开发
目标=Sentaurus Workb… · Python自动化 · 批量仿真与数据分析
可靠性仿真自动化脚本开发
30
课程综合项目
目标=完整器件可靠性评估 · Sentaurus仿真流程 · 失效分析报告撰写与答辩
课程综合项目目标=完整器件可…