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Sentaurus参数化设计与自动优化工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程视角建立
目标=Sentaurus TCAD在… · 典型工作流 · 学习路线与工具链概览
课程导入工程视角建立
02
Sentaurus工具链与脚本化基础
目标=SDE · SDEVICE · SPROCESS
Sentaurus工具链
03
参数化设计对象建模
目标=如何将器件结构 · 掺杂分布 · 材料堆叠抽象为可参数化的几何与物理变…
参数化设计对象建…目标=如何将器件…
04
SDE参数化结构生成
目标=使用Scheme/Tcl命令构… · 网格与掺杂 · 实现结构随参数自动变化
SDE参数化结构生成
05
Sentaurus Device命令文件参数化
目标=将物理模型 · 偏置条件 · 求解策略转化为可替换参数与变量
SentaurusDevice
06
参数空间定义与采样策略
目标=确定设计变量 · 约束范围 · 均匀采样
参数空间定义采样策略
07
自动化仿真流程搭建
目标=使用Shell/Python驱… · 实现批量仿真与结果自动归档
自动化仿真流程搭…Shell/Python
08
仿真结果自动提取
目标=从.tdr · .plt · .csv等输出中解析关键电学特性与物…
仿真结果自动提取tdr
09
参数化设计中的网格与收敛控制
目标=网格自适应 · 收敛失败诊断与参数扫描中的鲁棒性设置
参数化设计网格
10
单参数扫描与灵敏度分析
目标=针对关键设计变量进行一维扫描 · 识别影响器件性能的主控参数
单参数扫描灵敏度分析
11
多参数交互效应分析
目标=使用析因设计 · 响应面方法分析参数耦合与交互作用
多参数交互效应分…目标=使用析因设…
12
代理模型与响应面构建
目标=基于仿真数据拟合多项式 · Kriging · 神经网络等代理模型
代理模型响应面构建
13
优化目标与约束定义
目标=将器件性能指标转化为目标函数 · 约束条件与权重设计
优化目标约束定义
14
局部优化算法在Sentaurus中的应用
目标=梯度类 · 单纯形 · 序列二次规划等方法的集成与调用
Sentaurus局部优化算法
15
全局优化算法实践
目标=遗传算法 · 粒子群 · 模拟退火在TCAD参数优化中的实现与…
全局优化算法实践目标=遗传算法
16
多目标优化与Pareto前沿
目标=权衡开态电流 · 关态电流 · 击穿电压等冲突目标的工程决策
Pareto多目标优化
17
工艺参数与器件性能联合优化
目标=SPROCESS与SDEVIC… · 实现工艺-器件协同优化
工艺参数器件性能联合优化
18
鲁棒性与良率优化
目标=考虑工艺涨落与随机掺杂 · 进行蒙特卡洛分析与设计中心优化
鲁棒性良率优化
19
自动优化中的并行与加速
目标=利用多核 · 集群与任务调度提升参数扫描与优化效率
自动优化并行
20
数据管理与实验设计平台
目标=仿真数据库 · 参数记录 · 版本控制与可复现性工程实践
数据管理实验设计平台
21
案例一
目标=MOSFET驱动电流与泄漏电流…
案例一MOSFET
22
案例二
目标=FinFET/纳米片器件几何参…
案例二FinFET
23
案例三
目标=功率器件击穿电压与导通电阻协同…
案例三目标=功率器件击…
24
案例四
目标=光电器件量子效率与响应速度优化
案例四目标=光电器件量…
25
案例五
目标=存储器器件窗口与保持特性优化
案例五目标=存储器器件…
26
优化结果验证与物理可解释性
目标=回代仿真 · 敏感性复核与设计规则提炼
优化结果验证物理可解释性
27
自动优化流程的模块化与复用
目标=构建可配置模板 · 参数库与优化脚本框架
自动优化流程的模…复用
28
机器学习辅助TCAD优化
目标=贝叶斯优化 · 主动学习与代理模型加速参数搜索
TCAD机器学习辅助
29
工程化部署与持续集成
目标=将参数化优化流程嵌入设计流程 · 实现自动化回归与报告生成
工程化部署持续集成
30
综合实战与课程总结
目标=完整项目从需求定义 · 参数化建模 · 自动优化到结果交付的全流程复盘
综合实战课程总结