VIP9
本课程属于：008-晶圆量测、良率与失效分析 芯片硬件与光电工程 · 共 9 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

先进节点量测检测从Recipe开发到良率闭环项目

共计 30 章节
可可资料掘金营 · 点击在线试看
01
课程导入与全景认知
目标=先进节点量测检测的定义 · 范围 · 在芯片制造中的价值
课程导入全景认知
02
先进节点工艺与量测挑战
目标=FinFET · GAA · EUV
先进节点工艺量测挑战
03
量测检测核心概念与术语
目标=CD · OVL · THK
量测检测核心概念术语
04
Recipe开发基础
目标=Recipe的组成要素 · 开发流程 · 命名规范
Recipe开发基础
05
量测设备与检测设备概览
目标=CD-SEM · OCD · AFM
量测设备检测设备概览
06
Recipe开发前的需求分析
目标=明确量测目标 · 工艺窗口 · 采样策略
Recipe开发前的需求分析
07
量测Recipe开发实战
目标=对准 · 聚焦 · 扫描
Recipe量测
08
检测Recipe开发实战
目标=缺陷捕获条件 · 灵敏度与噪声平衡 · 扫描策略
Recipe检测
09
Recipe验证与验收
目标=匹配性验证 · 重复性 · 再现性
Recipe验证
10
采样策略与产能优化
目标=全片 · 场内 · 场内多点
采样策略产能优化
11
量测检测数据管理与分析
目标=数据采集 · 清洗 · 存储
量测检测数据管理分析
12
良率基础与良率模型
目标=良率定义 · 良率损失分类 · 缺陷密度模型
良率基础良率模型
13
缺陷来源与失效分析
目标=工艺缺陷 · 设备缺陷 · 材料缺陷
缺陷来源失效分析
14
量测检测与工艺联动
目标=如何将量测检测结果反馈到光刻 · 刻蚀 · 沉积
量测检测工艺联动
15
APC与先进过程控制
目标=Run-to-Run控制 · 前馈/反馈 · 模型预测控制
APC先进过程控制
16
良率闭环系统架构
目标=数据流 · 系统集成 · MES
良率闭环系统架构目标=数据流
17
Recipe开发到良率闭环的案例一
目标=先进逻辑节点CD量测Recip…
Recipe开发到良率闭环的…
18
Recipe开发到良率闭环的案例二
目标=EUV套刻量测Recipe开发…
Recipe开发到良率闭环的…
19
Recipe开发到良率闭环的案例三
目标=缺陷检测Recipe开发与良率…
Recipe开发到良率闭环的…
20
Recipe开发到良率闭环的案例四
目标=薄膜厚度与OCD量测Recip…
Recipe开发到良率闭环的…
21
常见Recipe问题与排查
目标=信号弱 · 噪声大 · 误报
Recipe常见
22
常见良率闭环问题与排查
目标=数据延迟 · 采样不足 · 模型偏差
常见良率闭环问题排查
23
量测检测自动化与智能化
目标=自动Recipe生成 · 机器学习辅助缺陷分类 · AI良率分析
量测检测自动化智能化
24
先进节点量测检测新技术
目标=混合量测 · 散射测量 · 电子束
先进节点量测检测…目标=混合量测
25
项目实战任务一
目标=制定某先进节点关键层的量测检测…
项目实战任务一目标=制定某先进…
26
项目实战任务二
目标=完成一套CD/OVL/Defe…
项目实战任务二CD/OVL/Defe
27
项目实战任务三
目标=搭建从量测检测数据到良率分析的…
项目实战任务三目标=搭建从量测…
28
项目实战任务四
目标=针对某良率损失问题 · 设计量测检测方案并推动闭环改善
项目实战任务四目标=针对某良率…
29
综合提升与最佳实践
目标=Recipe标准化 · 知识库 · 跨部门协作
综合提升最佳实践
30
课程总结与能力评估
目标=核心知识回顾 · 技能自评 · 实战项目复盘
课程总结能力评估