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良率数据：半导体Fab良率数据采集与清洗流程设计

共计 30 章节
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01
半导体制造概述
晶圆制造流程 · 前段制程(FEOL)与后段制程(BE… · 良率定义与重要性
半导体制造概述晶圆制造流程
02
良率关键指标
CP(芯片探测)良率 · FT(最终测试)良率 · 综合良率(Yield=CP×FT)
良率关键指标CP
03
数据采集系统架构
MES(制造执行系统) · EAP(设备自动化程序) · RMS(配方管理系统)
数据采集系统架构MES
04
数据源识别
设备日志(SECS/GEM协议) · 在线检测设备(OCD/CD-SEM) · 良率测试机台(Teradyne/Ad…
数据源识别SECS/GEM
05
数据采集接口设计
REST API · 数据库直连(JDBC/ODBC) · 文件传输(FTP/SFTP)
数据采集接口设计REST
06
数据采集频率与策略
实时采集(毫秒级) · 准实时(分钟级) · 批量采集(日/周级)的应用场景与实现
数据采集频率策略
07
数据格式标准化
JSON · CSV · Parquet
数据格式标准化JSON
08
数据质量维度
完整性 · 准确性 · 一致性
数据质量维度完整性
09
缺失值处理
设备宕机导致的数据缺失 · 传感器漂移导致的空值 · 插值法(线性/样条)与删除策略
缺失值处理设备宕机导致的数…
10
异常值检测
基于统计的3σ原则 · IQR(四分位距)法 · 基于机器学习的Isolation F…
异常值检测基于统计的3σ原…
11
重复数据清洗
晶圆ID重复 · 测试站点重复 · 时间戳重复的检测与去重策略(保留最新…
重复数据清洗ID
12
数据对齐与融合
不同设备时间戳不同步问题 · 晶圆批次(Lot)与晶圆( Wafe…
数据对齐融合
13
特征工程基础
从原始数据中提取统计特征(均值 · 方差 · CPK)
特征工程基础从原始数据
14
数据标签化
良率数据与工艺参数(温度 · 压力 · 气体流量)的关联标注
数据标签化良率数据
15
数据版本控制
数据快照 · 数据回滚 · 数据血缘追踪(Data Lineag…
数据版本控制数据快照
16
数据安全与权限
Fab数据保密等级 · 基于角色的访问控制(RBAC) · 数据脱敏(晶圆ID加密)
数据安全权限
17
数据存储方案
时序数据库(InfluxDB/Tim… · 关系型数据库(PostgreSQL) · 数据湖(Delta Lake)的选型
数据存储方案InfluxDB/Tim
18
数据管道编排
Apache Airflow DAG… · 任务依赖管理 · 失败重试与告警机制
数据管道编排Apache
19
数据监控与告警
数据延迟告警 · 数据量异常告警 · 数据质量评分卡(Data Quali…
数据监控告警
20
良率数据可视化
良率趋势图 · 缺陷分布热力图 · 帕累托图(Pareto Chart)…
良率数据可视化良率趋势图
21
良率数据分析基础
Bin分析 · 良率损失归因 · 空间分布分析(晶圆图Wafer Ma…
良率数据分析基础Bin
22
统计过程控制(SPC)
控制图(均值-极差图) · 过程能力指数(Cp/Cpk) · 异常判异准则(WECO规则)
SPC统计过程控制
23
缺陷分类与编码
ADC(自动缺陷分类)结果清洗 · 缺陷码重映射 · 缺陷密度计算
缺陷分类编码
24
设备状态数据清洗
设备空闲/运行/待机状态识别 · 设备报警日志清洗 · 设备健康度指标计算
设备状态数据清洗设备空闲
25
工艺参数数据清洗
温度/压力/流量传感器数据滤波(移动… · 漂移校正
工艺参数数据清洗温度
26
测试数据清洗
探针卡接触电阻异常 · 测试程序版本不一致 · 测试环境温湿度补偿
测试数据清洗探针卡接触电阻异…
27
数据清洗Pipeline实战
使用Python(Pandas/Nu…
Pipeline数据清洗
28
数据清洗效果评估
清洗前后数据质量对比 · 清洗对良率模型预测精度的影响分析
数据清洗效果评估清洗前后数据质量…
29
自动化清洗框架设计
基于规则引擎(Drools)与机器学…
自动化清洗框架设…Drools
30
案例实战
某12英寸Fab良率数据采集与清洗项… · 包括问题 · 方案
案例实战Fab